Ang platapormang granite, bilang isang kagamitang sanggunian para sa tumpak na pagsukat at pagproseso, ang pagpapanatili ng katumpakan nito ay direktang nakakaapekto sa kalidad ng produksyon. Ang sumusunod ay nagbibigay ng sistematikong plano sa pagpapanatili na sumasaklaw sa kontrol sa kapaligiran, pang-araw-araw na pagpapanatili at propesyonal na kalibrasyon upang matiyak na ang plataporma ay nagpapanatili ng katumpakan sa antas ng nanometer sa mahabang panahon.
1. Kontrol sa Kapaligiran: Gumawa ng harang na may proteksyon sa katumpakan
Pamamahala ng temperatura at halumigmig
Kailangang patatagin ang temperatura ng kapaligirang pinagtatrabahuhan sa 20±1℃. Ang bawat 1℃ na pagbabago ay magdudulot ng thermal deformation ng granite platform sa 0.5-1μm/m. Maaaring maglagay ng constant temperature system sa workshop upang maiwasan ang direktang pag-ihip ng mga air conditioning outlet papunta sa platform.
Ang halumigmig ay dapat kontrolin sa pagitan ng 40% at 60%. Ang labis na halumigmig ay madaling magdulot ng kalawang sa mga bahaging metal, habang ang masyadong mababang halumigmig ay maaaring humantong sa pagkagambala ng static electricity sa pagsukat.
Paghihiwalay ng panginginig ng boses
Dapat ilayo ang plataporma sa mga pinagmumulan ng panginginig tulad ng mga stamping machine at milling machine. Inirerekomenda na magpanatili ng distansya na higit sa 3 metro mula sa mga kagamitan sa panginginig.
Kung hindi maiiwasan ang panginginig ng boses, maaaring maglagay ng mga air spring shock absorber sa ilalim ng plataporma upang mabawasan ang epekto ng panginginig ng boses mula sa kapaligiran sa pagiging patag ng plataporma (na maaaring makabawas sa panlabas na panginginig ng boses nang higit sa 80%).
2. Pang-araw-araw na Pagpapanatili: Maingat na pagkontrol mula sa paglilinis hanggang sa proteksyon
Espesipikasyon sa paglilinis ng ibabaw
Pag-alis ng alikabok: Punasan ang ibabaw gamit ang balat ng usa o isang tela na walang lint sa parehong direksyon araw-araw upang maiwasan ang pagkamot ng mga partikulo ng alikabok (≥5μm) sa plataporma. Ang mga matigas na mantsa ay maaaring dahan-dahang punasan gamit ang anhydrous ethanol (kadalisayan ≥99.7%). Hindi dapat gumamit ng malalakas na solvent tulad ng acetone.
Pag-alis ng grasa: Kung madikit ito sa mga mantsa ng langis, punasan ito gamit ang diluted neutral cleaner, pagkatapos ay banlawan ng deionized na tubig at patuyuin sa hangin upang maiwasan ang pagpasok ng mineral oil sa maliliit na butas ng plataporma.
Proteksyon sa karga at banggaan
Ang kapasidad ng plataporma na magdala ng karga ay dapat kontrolin sa loob ng 70% ng rated load (halimbawa, para sa isang 1000kg na plataporma, inirerekomenda na ang karga ay ≤700kg) upang maiwasan ang permanenteng deformation na dulot ng lokal na overload.
Mahigpit na ipinagbabawal ang paghampas ng mga workpiece sa plataporma. Kapag humahawak ng mga kagamitan, magsuot ng malambot na guwantes upang maiwasan ang pagkamot ng matutulis na bagay sa ibabaw (ang mga gasgas na may lalim na higit sa 20μm ay makakaapekto sa pagsukat ng landas ng repleksyon ng liwanag).
3. Propesyonal na Kalibrasyon: Ang Ubod ng siyentipikong pagpapanatili ng katumpakan
Pagtatakda ng siklo ng kalibrasyon
Mga konbensyonal na sitwasyon sa paggamit: Mag-calibrate minsan kada quarter at gumamit ng laser interferometer upang matukoy ang pagiging patag (na may katumpakan na ±0.5μm/m).
Paggamit na may mataas na dalas o malupit na kapaligiran: Buwanang pagkakalibrate, na nakatuon sa pagsubaybay sa mga lugar na sensitibo sa temperatura (tulad ng gilid ng plataporma malapit sa mga pinagmumulan ng init).
Pagproseso pagkatapos ng pagkakalibrate
Kung may matagpuang paglihis sa kapal (tulad ng > ±1μm/m), dapat itong gilingin at kumpunihin ng isang propesyonal na technician gamit ang W1.5 micro-powder. Mahigpit na ipinagbabawal ang paggiling gamit ang papel de liha.
Pagkatapos ng kalibrasyon, dapat itala at i-archive ang datos, at dapat itatag ang isang kurba ng pagpapahina ng katumpakan ng platform upang mahulaan ang mga kinakailangan sa pagpapanatili nang maaga.
4. Pag-iimbak at Transportasyon: Iwasan ang nakatagong pagkawala ng katumpakan
Mga pangunahing punto para sa pangmatagalang imbakan
Kapag iniimbak, dapat itong takpan ng takip na hindi tinatablan ng tubig at alikabok. Ang ilalim ay dapat suportahan ng tatlong punto (ang punto ng suporta ay matatagpuan sa 2/9 ng haba ng plataporma) upang maiwasan ang pagbaluktot na deformasyon na dulot ng grabidad (ang isang 1-metrong plataporma ay maaaring lumubog ng 0.3μm dahil sa pangmatagalang suporta sa isang punto).
Regular na ilipat ang posisyon ng mga support point ng platform (buwan-buwan) upang maiwasan ang pangmatagalang lokal na presyur.
Plano ng proteksyon sa transportasyon
Paghahatid nang maikli: Balutin ng shock-absorbing foam, ikabit sa loob ng isang matibay na frame, at panatilihin ang acceleration sa loob ng 2g.
Paghahatid nang malayuan: Kailangan itong i-vacuum pack at lagyan ng tuyong nitroheno. Pagkatapos dumating, dapat itong iwanang nakatayo nang 24 oras hanggang sa umabot sa ekwilibriyo ang temperatura bago i-unpack upang maiwasan ang epekto ng tubig na kondensasyon sa katumpakan.
5. Paghula ng Mali: Mga Teknik para sa Pagtukoy ng Maagang Problema
Biswal na inspeksyon: Regular na obserbahan ang ibabaw gamit ang 40x magnifying glass. Kung ang patuloy na mga gasgas o isang makabuluhang pagbaba ng kinang ay matatagpuan, maaaring indikasyon ito ng pagbaba ng katumpakan.
Pagtukoy ng tunog: Dahan-dahang tapikin ang plataporma. Kung ang tunog ay maging paos (karaniwan ay dapat itong maging malinaw na tunog), maaaring may mga maliliit na bitak sa loob. Itigil agad ang paggamit nito para sa pagtukoy.
Sa pamamagitan ng sistemang ito ng pagpapanatili, ang ZHHIMG® granite platform ay maaaring mapanatili ang patag na ±1μm/m sa loob ng 10 taon, na mahigit tatlong beses na mas mahaba kaysa sa precision life ng mga platform na hindi maayos na pinapanatili. Napatunayan ng praktika na matapos gamitin ng isang partikular na pabrika ng semiconductor ang solusyong ito, ang dalas ng platform calibration ay nabawasan ng 50%, at ang taunang gastos sa pagpapanatili ay natipid ng mahigit 150,000 yuan.
Oras ng pag-post: Hunyo 18, 2025