Sa workshop ng paggawa ng semiconductor, ang mga kinakailangan ng proseso ng paggawa ng chip para sa mga kondisyon ng kapaligiran at katumpakan ng kagamitan ay labis-labis, at ang anumang bahagyang paglihis ay maaaring humantong sa isang makabuluhang pagbaba sa ani ng chip. Ang platform ng paggalaw ng XYZT precision gantry ay umaasa sa mga bahagi ng granite upang makipagtulungan sa iba pang mga bahagi ng platform upang bumuo ng isang matibay na pundasyon para sa pagkamit ng katumpakan sa nanoscale.
Napakahusay na mga katangian ng pagharang sa panginginig ng boses
Sa pagawaan ng semiconductor manufacturing, ang pagpapatakbo ng mga peripheral equipment at mga tauhang naglalakad ay maaaring magdulot ng vibration. Ang panloob na istruktura ng mga bahagi ng granite ay siksik at pare-pareho, na may natural na mataas na katangian ng damping, tulad ng isang mahusay na "hadlang" ng vibration. Kapag ang panlabas na vibration ay ipinapadala sa platform ng XYZT, ang bahagi ng granite ay maaaring epektibong magpahina ng higit sa 80% ng enerhiya ng vibration at mabawasan ang interference ng vibration sa katumpakan ng paggalaw ng platform. Kasabay nito, ang platform ay nilagyan ng high-precision air float guide system, na gumagana kasabay ng mga bahagi ng granite. Ang air float guide ay gumagamit ng stable gas film na nabuo ng high pressure gas upang maisakatuparan ang contactless suspension movement ng mga gumagalaw na bahagi ng platform at mabawasan ang maliit na vibration na dulot ng mechanical friction. Magkasama, tinitiyak ng dalawa na ang katumpakan ng pagpoposisyon ng platform ay palaging pinapanatili sa antas ng nanometer sa mga pangunahing proseso tulad ng chip lithography at etching, at maiwasan ang paglihis ng mga pattern ng chip circuit na dulot ng vibration.
Napakahusay na katatagan ng init
Ang pagbabago-bago ng temperatura at halumigmig sa workshop ay may malaking impluwensya sa katumpakan ng mga kagamitan sa paggawa ng chip. Ang thermal expansion coefficient ng granite ay napakababa, kadalasan ay nasa 5-7 ×10⁻⁶/℃, ang laki ay halos hindi nagbabago kapag nagbabago ang temperatura. Kahit na ang pagkakaiba ng temperatura sa pagitan ng araw at gabi sa workshop o ang produksyon ng init ng kagamitan ay nagiging sanhi ng pagbabago-bago ng temperatura sa paligid, ang mga bahagi ng granite ay maaaring manatiling matatag upang maiwasan ang deformation ng platform dahil sa thermal expansion at contraction. Kasabay nito, ang intelligent temperature control system na may platform ay sinusubaybayan ang temperatura sa paligid sa real time, awtomatikong inaayos ang air conditioning at heat dissipation equipment, at pinapanatili ang temperatura ng workshop sa 20°C ±1°C. Kasama ang mga bentahe ng granite heat stability, tinitiyak na ang platform sa pangmatagalang operasyon, ang katumpakan ng paggalaw ng bawat axis ay palaging nakakatugon sa mga pamantayan ng katumpakan ng nanometer ng paggawa ng chip, upang matiyak na ang laki ng pattern ng chip lithography ay tumpak, ang lalim ng pag-ukit ay pare-pareho.
Matugunan ang mga pangangailangan ng malinis na kapaligiran
Kailangang mapanatili ng talyer ng paggawa ng semiconductor ang mataas na antas ng kalinisan upang maiwasan ang kontaminasyon ng mga particle ng alikabok sa chip. Ang materyal na granite mismo ay hindi naglalabas ng alikabok, at ang ibabaw ay makinis, hindi madaling sumipsip ng alikabok. Ang plataporma sa kabuuan ay gumagamit ng ganap na sarado o bahagyang saradong disenyo ng istraktura upang mabawasan ang pagpasok ng panlabas na alikabok. Ang panloob na sistema ng sirkulasyon ng hangin ay nakaugnay sa malinis na sistema ng air conditioning ng talyer upang matiyak na ang panloob na kalinisan ng hangin ay umaabot sa antas na kinakailangan ng paggawa ng chip. Sa malinis na kapaligirang ito, ang mga bahagi ng granite ay hindi makakaapekto sa pagganap dahil sa pagguho ng alikabok, at ang mga pangunahing bahagi tulad ng mga high-precision sensor at motor ng plataporma ay maaari ring gumana nang matatag, na nagbibigay ng tuluy-tuloy at maaasahang garantiya ng katumpakan sa nanoscale para sa paggawa ng chip, at tumutulong sa industriya ng semiconductor na lumipat sa mas mataas na antas ng proseso.
Oras ng pag-post: Abril-14, 2025