Paano nakakaapekto ang granite base sa katumpakan ng hindi mapanirang pagsubok ng mga wafer?

ang
ang
Sa mundo ng paggawa ng semiconductor, ang hindi mapanirang pagsusuri ng mga wafer ay isang mahalagang kawing upang matiyak ang kalidad ng mga chips. Ang tila maliit na base ng granite ang siyang "hindi kilalang bayani" na tumutukoy sa katumpakan ng pagtuklas. Paano nga ba nito naaapektuhan ang mga resulta ng pagsubok? Ang artikulong ito ay magsasagawa ng malalimang pagsusuri mula sa mga dimensyon tulad ng mga katangian ng materyal at disenyo ng istruktura.
1. Matatag na Pundasyon: Ang natural na mga bentahe ng granite ay naglalatag ng matibay na pundasyon para sa katumpakan
1. Napakahusay na pagganap ng seismic
Habang ginagamit ang wafer non-destructive testing equipment, ang pag-ikot ng motor at ang paggalaw ng mga mekanikal na bahagi ay lilikha ng mga vibration. Kung ang mga vibration na ito ay hindi epektibong mapipigilan, malubhang makakaapekto ang mga ito sa katumpakan ng pagsusuri. Ang loob ng granite ay malapit na hinabi ng mga mineral na kristal tulad ng quartz at feldspar. Ang natatanging istraktura nito ay nagbibigay dito ng natural na kapasidad sa pagsipsip ng vibration, na may kakayahang sumipsip ng mahigit 90% ng enerhiya ng vibration ng kagamitan. Ang aktwal na datos ng pagsukat ng isang partikular na tagagawa ng semiconductor ay nagpapakita na pagkatapos gamitin ang granite base, ang vibration amplitude ng detection equipment ay nabawasan mula 12μm patungong 2μm, na epektibong nakakaiwas sa paglihis ng detection signal na dulot ng vibration.
2. Napakababang koepisyent ng thermal expansion
Sa proseso ng pagtukoy, ang mga salik tulad ng pag-init ng kagamitan at mga pagbabago sa temperatura ng kapaligiran ay makakaapekto sa katatagan ng base ng makina. Ang mga ordinaryong materyales ay lumalawak nang malaki kapag pinainit, ngunit ang koepisyent ng thermal expansion ng granite ay 1/5 lamang ng bakal. Kahit na ang temperatura ng paligid ay magbago ng 10℃, ang deformation nito ay maaaring balewalain. Nagbibigay-daan ito sa base ng granite na magbigay ng isang matatag na reference platform para sa kagamitan sa inspeksyon, na tinitiyak na ang relatibong posisyon sa pagitan ng inspection probe at ng wafer ay nananatiling tumpak sa lahat ng oras at iniiwasan ang mga error sa inspeksyon na dulot ng thermal deformation.
Pangalawa, tumpak na disenyo: Ang pag-optimize ng istruktura ay lalong nagpapahusay sa pagiging maaasahan ng pagtuklas
Garantiya ng mataas na katumpakan sa pagproseso at pagiging patag
Ang mataas na kalidad na granite base ay pinoproseso gamit ang advanced five-axis linkage CNC technology, na may flatness na ±0.5μm/m, na nagbibigay ng ultra-flat installation reference para sa mga kagamitan sa inspeksyon. Sa wafer inspection, ang verticality at levelness ng inspection probe ay mahalaga sa mga resulta ng inspeksyon. Ang isang high-precision granite base ay maaaring matiyak ang tumpak na pagpoposisyon ng probe, na ginagawang mas tumpak at maaasahan ang datos ng inspeksyon.
2. Pasadyang pag-aangkop sa istruktura
Maaaring ipasadya ang mga base ng makinang granite para sa iba't ibang kagamitan sa pagsubok na hindi mapanira ng wafer at mga kinakailangan sa proseso. Halimbawa, upang matugunan ang mga kinakailangan ng kagamitan sa optical inspection para sa repleksyon ng liwanag, ang ibabaw ng base ng makina ay maaaring espesyal na gamutin; Upang matugunan ang mga kinakailangan sa pag-install ng kagamitan sa pagsubok ng ultrasonic, ang base ay maaaring paunang gawin gamit ang mga tumpak na butas sa pag-install at mga cable tray, na nagbibigay-daan sa mabilis at tumpak na pag-install ng kagamitan at binabawasan ang mga paglihis sa pagtuklas na dulot ng mga error sa pag-install.
Iii. Pangmatagalang katatagan: Bawasan ang pagkawala ng katumpakan na dulot ng pagpapanatili ng kagamitan
Ang granite ay may mataas na tigas at malakas na resistensya sa pagkasira, na may tigas na Mohs na 6 hanggang 7, na tatlong beses ang resistensya sa pagkasira ng ordinaryong bakal. Sa mga pangmatagalang operasyon ng inspeksyon, ang ibabaw ng base ng makina ay hindi madaling masira at palaging maaaring mapanatili ang isang mahusay na estado ng katumpakan. Sa kabaligtaran, ang mga base na gawa sa iba pang mga materyales ay maaaring magdulot ng mga pagbabago sa sanggunian ng pag-install ng kagamitan dahil sa pagkasira at pagkasira, sa gayon ay nakakaapekto sa katumpakan ng pagtuklas at nangangailangan ng madalas na kalibrasyon at pagpapanatili. Ang mahabang buhay ng serbisyo at mataas na katatagan ng base ng granite ay epektibong binabawasan ang dalas ng pagpapanatili ng kagamitan at binabawasan ang panganib ng pagkawala ng katumpakan na maaaring mangyari sa panahon ng proseso ng pagpapanatili.
Mula sa resistensya sa pagkabigla, resistensya sa init hanggang sa tumpak na disenyo, bawat katangian ng granite base ay nangangalaga sa katumpakan ng hindi mapanirang pagsubok ng mga wafer. Sa panahon ngayon ng paggawa ng semiconductor na naghahangad ng sukdulang katumpakan, ang pagpili ng isang de-kalidad na granite base ay parang pagdaragdag ng isang matibay na patong ng seguro sa katumpakan at pagiging maaasahan ng mga resulta ng pagsubok.