Sa tumpak na kadena ng pagmamanupaktura ng semiconductor, ang sistema ng paglipat ng wafer ay tulad ng "lifeline ng linya ng paggawa ng chip", at ang katatagan at katumpakan nito ay direktang tinutukoy ang rate ng ani ng mga chips. Ang bagong henerasyon ng mga wafer transfer system ay rebolusyonaryo na pinagsasama ang mga linear na motor na may mga granite base, at ang mga natatanging bentahe ng mga granite na materyales ay tiyak na pangunahing code upang i-unlock ang mataas na pagganap ng paghahatid.
ang
Granite base: Pagbuo ng "rock-solid foundation" para sa stable na transmission
Ang Granite, na sumailalim sa daan-daang milyong taon ng geological refinement, ay nagtatampok ng siksik at pare-parehong panloob na pagkikristal ng mineral. Ang likas na katangian na ito ay ginagawa itong isang perpektong batayang materyal para sa mga sistema ng paglipat ng wafer. Sa kumplikadong kapaligiran ng mga semiconductor cleanroom, ang granite, na may napakababang koepisyent ng thermal expansion nito (5-7 × 10⁻⁶/℃ lamang), ay maaaring labanan ang init na nabuo sa panahon ng operasyon ng kagamitan at ang impluwensya ng mga pagbabago sa temperatura sa kapaligiran, tinitiyak ang katatagan ng laki ng base at pag-iwas sa paglihis ng daanan ng paghahatid na dulot ng thermal deformation. Ang pambihirang pagganap ng vibration damping nito ay mabilis na naa-absorb ang mga mekanikal na vibrations na nabuo sa panahon ng start-up, shutdown at acceleration ng mga linear na motor, pati na rin ang mga external na interferences na dala ng operasyon ng iba pang kagamitan sa workshop, na nagbibigay ng stable na platform na may "zero shake" para sa wafer transmission. ang
Samantala, ang chemical stability ng granite ay nagsisiguro na hindi ito nabubulok o kinakalawang sa mga semiconductor workshops kung saan ang acid at alkali reagents ay pabagu-bago at mataas ang kalinisan ay kinakailangan, kaya iniiwasan ang epekto sa katumpakan ng transmission dahil sa pagtanda ng materyal o pollutant adsorption. Ang makinis at siksik na mga katangian sa ibabaw ay maaaring mas epektibong mabawasan ang pagdirikit ng alikabok, nakakatugon sa mga mahigpit na pamantayang walang alikabok ng malinis na mga silid at inaalis ang panganib ng kontaminasyon ng wafer mula sa ugat. ang
Ang epekto ng "golden partnership" ng mga linear na motor at granite
Ang mga linear na motor, na may kanilang mga katangian na walang mekanikal na transmission clearance, mataas na acceleration at mataas na bilis ng pagtugon, ay nagbibigay ng wafer transmission na may mga pakinabang ng "mabilis, tumpak at matatag". Ang granite base ay nagbibigay ng matatag at maaasahang platform ng suporta para dito. Ang dalawa ay nagtutulungan upang makamit ang isang lukso sa pagganap. Kapag ang linear na motor ang nagtutulak sa wafer carrier na tumakbo sa granite base track, ang malakas na rigidity at stability ng base ay nagsisiguro ng mahusay na transmission ng motor driving force, iniiwasan ang force loss o transmission lag na dulot ng base deformation. ang
Dahil sa pangangailangan para sa katumpakan ng nanoscale, ang mga linear na motor ay maaaring makamit ang kontrol sa displacement na antas ng sub-micron. Ang mga katangian ng pagpoproseso ng mataas na katumpakan ng mga base ng granite (na may mga flatness error na kontrolado sa loob ng ±1μm) ay perpektong tumutugma sa tumpak na kontrol ng mga linear na motor, sabay-sabay na tinitiyak na ang error sa pagpoposisyon sa panahon ng paghahatid ng wafer ay mas mababa sa ±5μm. Kung ito man ay high-speed shuttling sa iba't ibang kagamitan sa proseso o tumpak na paradahan para sa wafer handover, ang kumbinasyon ng mga linear na motor at granite na base ay maaaring matiyak ang "zero deviation at zero jitter" sa wafer transmission. ang
Pag-verify ng kasanayan sa industriya: Dalawang pagpapabuti sa kahusayan at rate ng ani
Matapos i-upgrade ang sistema ng paglilipat ng wafer nito, ang isang nangungunang pandaigdigang semiconductor enterprise ay nagpatibay ng linear motor + granite base solution, na nagpapataas ng kahusayan sa paglipat ng wafer ng 40%, nagpababa sa rate ng paglitaw ng mga pagkakamali tulad ng banggaan at na-offset sa panahon ng proseso ng paglilipat ng 85%, at pinahusay ang pangkalahatang rate ng ani ng mga chips ng 6%. Sa likod ng data ay namamalagi ang garantiya ng katatagan ng transmission na ibinigay ng granite base at ang high-speed at tumpak na synergy effect ng linear motor, na makabuluhang binabawasan ang pagkawala at error sa proseso ng paghahatid ng wafer. ang
Mula sa mga materyal na katangian hanggang sa pagmamanupaktura ng katumpakan, mula sa mga pakinabang sa pagganap hanggang sa praktikal na pag-verify, ang kumbinasyon ng mga linear na motor at granite na base ay muling tinukoy ang mga pamantayan ng mga sistema ng paglipat ng wafer. Sa hinaharap kapag sumulong ang teknolohiya ng semiconductor patungo sa 3nm at 2nm na mga proseso, tiyak na magpapatuloy ang mga materyales ng granite na mag-iniksyon ng malakas na impetus sa pag-unlad ng industriya sa kanilang hindi mapapalitang mga pakinabang.
Oras ng post: Mayo-14-2025