Ang granite ay isang uri ng matigas na bato na naging isang kailangang-kailangan na materyal sa industriya ng paggawa ng semiconductor. Ang mga katangian nito ay nagpapahintulot dito na makatiis sa mataas na temperatura, na ginagawa itong mainam para sa paggamit sa iba't ibang yugto ng mga proseso ng paggawa ng semiconductor device. Bilang resulta, ang granite assembly ay nakahanap ng malawak na saklaw ng aplikasyon sa mga produktong semiconductor process device.
Isa sa mga pinakaginagamit na aplikasyon ng granite assembly ay sa paggawa ng mga high-precision machine tool structures. Ang tigas at estabilidad ng granite ay nagbibigay-daan upang makagawa ng tumpak at tumpak na mga kagamitan na may kaunti o walang deformation. Ang antas ng katumpakan na ito ay kinakailangan sa mga proseso ng paggawa ng semiconductor tulad ng ion implantation, kung saan ang beam ay dapat na tumpak na nakadirekta papunta sa wafer.
Ang isa pang gamit ng granite assembly sa paggawa ng semiconductor ay sa paggawa ng mga kagamitan sa metrolohiya. Mahalaga ang kagamitan sa metrolohiya sa mga proseso ng paggawa ng semiconductor dahil sinusukat at pinapatunayan nito ang katumpakan ng mga aparatong ginagawa. Ang dimensional stability ng granite, mababang thermal expansion, at mahusay na vibration damping properties ang dahilan kung bakit ito ang materyal na pinipili sa paggawa ng mga kagamitan sa metrolohiya. Kabilang dito ang malalaking granite surface na ginagamit sa pag-staging at inspeksyon ng mga wafer.
Ang mga optical table ay isa pang larangan ng malawakang aplikasyon ng granite assembly sa industriya ng semiconductor. Ginagamit ang mga optical table sa pagsubok ng mga optical device tulad ng mga waveguide para sa komunikasyon ng datos. Ang pagiging patag, mababang thermal expansion, mataas na rigidity, at mechanical stability ng granite ay nagbibigay-daan dito upang magbigay ng isang lubos na matatag na ibabaw para sa pag-mount at pagpoposisyon ng mga optika. Ang mga Granite Optical table ay maaaring magbigay ng katatagan at rigidity na kinakailangan upang maisagawa ang tumpak at tumpak na pagsubok ng mga optical device.
Ginagamit din ang granite sa paggawa ng mga wafer chuck at stage. Sa proseso ng paggawa ng semiconductor, mahalaga ang precision alignment, at pagkontrol sa posisyon. Ang mga wafer chuck, na siyang humahawak sa mga wafer sa lugar habang pinoproseso, ay dapat mapanatili ang katumpakan ng posisyon habang natitiis ang mataas na temperatura at mga kondisyon ng vacuum. Ang granite ay may mahusay na dimensional stability sa malawak na hanay ng temperatura at kayang tiisin ang mga kondisyon ng vacuum, kaya mainam ito para sa paggawa ng mga wafer chuck. Ang mga stage na ginagamit sa paggalaw ng mga wafer mula sa isang posisyon patungo sa isa pa ay dumadaan sa isang cycling sequence ng mga paggalaw sa panahon ng proseso ng paggawa ng semiconductor. Ang granite assembly ay nagbibigay ng katatagan at tibay na kailangan upang madala ang tuluy-tuloy at paulit-ulit na mga cycle ng paggalaw.
Sa buod, malawak ang aplikasyon ng granite assembly sa industriya ng pagmamanupaktura ng semiconductor. Ang mga katangian nito tulad ng dimensional stability, mababang thermal expansion, mataas na rigidity, at vibration damping ay ginagawa itong isang mainam na materyal para sa paggamit sa iba't ibang yugto ng proseso ng paggawa ng semiconductor device. Mula sa paggawa ng mga high-precision machine tool at metrology equipment hanggang sa mga optical table at wafer stage at chuck, ang mga katangian ng granite ay gumaganap ng mahalagang papel sa pagbibigay ng katatagan, katumpakan, at repeatability na kinakailangan upang makamit ang mataas na kalidad na paggawa ng semiconductor device.
Oras ng pag-post: Disyembre 06, 2023