Ang granite platform, bilang isang reference tool para sa tumpak na pagsukat at pagproseso, ang katumpakan ng pagpapanatili nito ay direktang nakakaapekto sa kalidad ng produksyon. Ang sumusunod ay nagbibigay ng isang sistematikong plano sa pagpapanatili na sumasaklaw sa kontrol sa kapaligiran, pang-araw-araw na pagpapanatili at propesyonal na pagkakalibrate upang matiyak na ang platform ay nagpapanatili ng katumpakan sa antas ng nanometer sa mahabang panahon.
1. Environmental Control: Bumuo ng precision protection barrier
Pamamahala ng temperatura at halumigmig
Ang temperatura ng kapaligiran sa pagtatrabaho ay kailangang patatagin sa 20±1 ℃. Bawat 1 ℃ pagbabagu-bago ay magdudulot ng thermal deformation ng granite platform sa 0.5-1μm/m. Ang isang pare-parehong sistema ng temperatura ay maaaring mai-install sa pagawaan upang maiwasan ang mga saksakan ng air conditioning mula sa direktang pag-ihip sa platform.
Ang halumigmig ay dapat na kontrolado sa pagitan ng 40% at 60%. Ang sobrang halumigmig ay madaling magdulot ng kalawang sa mga bahagi ng metal, habang ang masyadong mababang halumigmig ay maaaring humantong sa pagkagambala ng static na kuryente sa pagsukat.
Paghihiwalay ng vibration
Dapat na ilayo ang platform sa mga pinagmumulan ng vibration gaya ng mga stamping machine at milling machine. Inirerekomenda na mapanatili ang layo na higit sa 3 metro mula sa kagamitan sa panginginig ng boses.
Kung hindi maiiwasan ang vibration, maaaring i-install ang air spring shock absorbers sa ilalim ng platform upang mabawasan ang epekto ng environmental vibration sa flatness ng platform (na maaaring mabawasan ang external vibration ng higit sa 80%).
2. Pang-araw-araw na Pagpapanatili: Masusing kontrol mula sa paglilinis hanggang sa proteksyon
Mga detalye ng paglilinis ng ibabaw
Pag-aalis ng alikabok: Punasan ang ibabaw gamit ang balat ng usa o walang lint na tela sa parehong direksyon araw-araw upang maiwasan ang mga dust particle (≥5μm) mula sa pagkamot sa platform. Maaaring dahan-dahang punasan ang mga matigas na mantsa ng anhydrous ethanol (purity ≥99.7%). Hindi dapat gumamit ng malalakas na solvents tulad ng acetone.
Pag-degreasing: Kung may mantsa ng langis, punasan ito ng diluted neutral cleaner, pagkatapos ay banlawan ng deionized na tubig at tuyo sa hangin upang maiwasan ang mineral na langis na tumagos sa maliliit na butas ng platform.
Proteksyon sa pag-load at banggaan
Ang load-bearing capacity ng platform ay dapat kontrolin sa loob ng 70% ng rated load (halimbawa, para sa 1000kg platform, inirerekomenda na ang load ay ≤700kg) upang maiwasan ang permanenteng deformation na dulot ng lokal na overload.
Mahigpit na ipinagbabawal na hampasin ang mga workpiece sa platform. Kapag humahawak ng mga tool, magsuot ng malambot na guwantes upang maiwasan ang mga matulis na bagay mula sa scratching sa ibabaw (mga gasgas na may lalim na mas malaki kaysa sa 20μm ay makakaapekto sa pagsukat ng reflected light path).
3. Propesyonal na Pag-calibrate: Ang Ubod ng siyentipikong pagpapanatili ng katumpakan
Setting ng ikot ng pagkakalibrate
Mga karaniwang sitwasyon sa paggamit: Mag-calibrate isang beses bawat quarter at gumamit ng laser interferometer para makita ang flatness (na may katumpakan na ±0.5μm/m).
Mataas na dalas ng paggamit o malupit na kapaligiran: Buwanang pag-calibrate, na may pagtuon sa pagsubaybay sa mga lugar na sensitibo sa temperatura (tulad ng gilid ng platform malapit sa mga pinagmumulan ng init).
Pagproseso pagkatapos ng pagkakalibrate
Kung ang flatness deviation ay nakita (tulad ng > ±1μm/m), dapat itong igiling at ayusin ng isang propesyonal na technician gamit ang W1.5 micro-powder. Ang paggiling sa sarili gamit ang papel de liha ay mahigpit na ipinagbabawal.
Pagkatapos ng pagkakalibrate, dapat na itala at i-archive ang data, at dapat na maitatag ang curve ng attenuation ng katumpakan ng platform upang mahulaan nang maaga ang mga kinakailangan sa pagpapanatili.
4. Imbakan at Transportasyon: Iwasan ang nakatagong pagkawala ng katumpakan
Mga pangunahing punto para sa pangmatagalang imbakan
Kapag nag-iimbak, dapat itong takpan ng moisture-proof at dust-proof na takip. Ang ibaba ay dapat na suportado ng tatlong punto (ang punto ng suporta ay matatagpuan sa 2/9 ng haba ng platform) upang maiwasan ang baluktot na pagpapapangit na dulot ng gravity (ang isang 1-meter na platform ay maaaring lumubog ng 0.3μm dahil sa pangmatagalang single-point na suporta).
Regular na ilipat ang posisyon ng mga punto ng suporta sa platform (buwan-buwan) upang maiwasan ang pangmatagalang lokal na presyon.
Plano ng proteksyon sa transportasyon
Pansamantalang transportasyon: I-wrap gamit ang shock-absorbing foam, ayusin sa loob ng matibay na frame, at panatilihin ang acceleration sa loob ng 2g.
Malayuang transportasyon: Kailangan itong naka-vacuum at puno ng tuyong nitrogen. Pagkatapos ng pagdating, dapat itong iwanang tumayo ng 24 na oras hanggang ang temperatura ay umabot sa equilibrium bago i-unpack upang maiwasan ang condensation na tubig na makaapekto sa katumpakan.
5. Paghula ng Fault: Mga Pamamaraan para sa Pagkilala sa mga Maagang Problema
Visual na inspeksyon: Regular na obserbahan ang ibabaw gamit ang 40x magnifying glass. Kung ang tuluy-tuloy na mga gasgas o isang makabuluhang pagbaba sa gloss ay natagpuan, maaari itong magpahiwatig ng pagbaba sa katumpakan.
Sound detection: I-tap ang platform nang marahan. Kung ang tunog ay namamaos (karaniwan ay dapat itong malinaw na tunog), maaaring may mga micro-crack sa loob. Ihinto kaagad ang paggamit nito para sa pagtuklas.
Sa pamamagitan ng sistemang ito ng pagpapanatili, ang ZHHIMG® granite platform ay maaaring magpanatili ng flatness na ±1μm/m sa loob ng 10 taon, na higit sa tatlong beses na mas mahaba kaysa sa precision life ng mga platform na hindi napanatili nang maayos. Napatunayan ng pagsasanay na pagkatapos na gamitin ng isang partikular na pabrika ng semiconductor ang solusyon na ito, ang dalas ng pagkakalibrate ng platform ay nabawasan ng 50%, at ang taunang gastos sa pagpapanatili ay na-save ng higit sa 150,000 yuan.
Oras ng post: Hun-18-2025