Sa lubos na mapagkumpitensyang mundo ng makabagong paggawa ng display, ang pagkakaiba sa pagitan ng pamumuno sa merkado at pagiging lipas na sa panahon ay kadalasang nakasalalay sa isang salik: katumpakan. Ang paggawa at inspeksyon ng mga Low-Temperature Polycrystalline Silicon (LTPS) array—ang pundasyon para sa mga high-resolution, high-performance na OLED at LCD screen—ay nangangailangan ng mga tolerance na lumalampas sa mga hangganan ng inhinyeriya. Ang pagkamit ng napakataas na antas ng katumpakan na ito ay nagsisimula sa pisikal na pundasyon ng makinarya mismo. Ito ang dahilan kung bakit ang pagpili ng base ng granite machine para sa kagamitan ng LTPS Array ay hindi lamang isang pagpipilian sa disenyo, kundi isang pangunahing kinakailangan.
Ang mga prosesong kasangkot sa paggawa ng LTPS array, lalo na ang laser crystallization at kasunod na mga hakbang sa photolithography at deposition, ay lubhang sensitibo sa ingay sa kapaligiran, kabilang ang mga banayad na vibrations at thermal shifts. Kahit na sa pinakamaingat na kinokontrol na kapaligiran sa cleanroom, ang maliliit na pagbabago ay maaaring makaapekto nang malaki sa yield at uniformity ng array. Ang yugto ng inspeksyon—na isinasagawa ng mga sopistikadong kagamitan upang matiyak na ang bawat transistor ay perpektong nabuo—ay nangangailangan ng mas mataas na antas ng integridad ng istruktura. Ito ang larangan kung saan ang Granite machine base para sa Flat panel display low-temperature polysilicon array inspection equipment ay tunay na nangunguna.
Ang Thermal at Dynamic na Pangangailangan ng Inspeksyon ng LTPS
Ang teknolohiyang LTPS ay nagbibigay-daan para sa mas mabilis na paggalaw ng elektron, na nagbibigay-daan sa mas maliliit at mas mahusay na mga transistor at humahantong sa mga display na may nakamamanghang refresh rate at mas mababang konsumo ng kuryente. Gayunpaman, ang mga istrukturang kasangkot ay mikroskopiko, sinusukat sa microns. Para sa tumpak na paghahanap, pagsukat, at pagsusuri ng mga depekto ng kumplikadong kagamitan sa inspeksyon, ang platform ng pagpapatakbo nito ay dapat na halos walang galaw at hindi nagbabago ang dimensyon.
Ang mga tradisyunal na materyales tulad ng cast iron o bakal, bagama't matibay, ay likas na madaling kapitan ng thermal expansion. Ang coefficient of thermal expansion (CTE) para sa karaniwang bakal ay mas mataas nang malaki kaysa sa black granite. Nangangahulugan ito na ang bahagyang pagtaas ng temperatura sa paligid, marahil isa o dalawang degree lamang, ay magiging sanhi ng mas matinding paglawak at pagliit ng istruktura ng bakal na makina. Sa konteksto ng inspeksyon ng array, ang thermal drift na ito ay nagdudulot ng mga error sa posisyon, mga maling pagkakahanay sa optical path, at posibleng mga hindi tumpak na pagbasa na maaaring magresulta sa pagtanggi sa mga mahusay na panel o pagtanggap sa mga may depekto.
Sa kabaligtaran, ang paggamit ng isang espesyalisadong granite machine bed para sa kagamitan ng LTPS Array ay nagbibigay ng plataporma na may napakababang CTE. Tinitiyak ng thermal stability na ito na ang kritikal na geometry ng makina—ang distansya sa pagitan ng measurement sensor at ng LTPS substrate—ay nananatiling pare-pareho, na nagbibigay-daan para sa pare-pareho at paulit-ulit na mga sub-micron na pagsukat na mahalaga para sa pagkontrol ng kalidad.
Walang Kapantay na Vibration Damping at Stiffness
Bukod sa thermal stability, ang mga likas na katangian ng materyal ng granite ay nag-aalok ng isang malaking kalamangan sa pamamahala ng mga dinamikong puwersa at panginginig ng boses. Ang mga advanced na sistema ng inspeksyon ay gumagamit ng mga high-speed na yugto at sopistikadong mekanismo ng pag-scan na bumubuo ng maliliit na mekanikal na paggalaw at panginginig ng boses. Ang mga panloob na puwersang ito, kasama ang panlabas na ingay mula sa mga air handler o katabing makinarya, ay dapat na mabilis na ma-neutralize upang maiwasan ang motion blur o reading instability.
Ang mataas na internal damping capacity ng granite, isang katangian na nagpapahintulot dito na mapawi ang vibrational energy nang mas mabilis kaysa sa mga metal, ay mahalaga rito. Gumagana ito bilang isang passive shock absorber, na tinitiyak na ang makina ay mabilis na bumabalik sa isang estado ng perpektong katahimikan pagkatapos ng bawat galaw. Ang mataas na modulus ng elasticity at density ng bato ay nakakatulong din sa isang napakatigas na istraktura, na nagpapaliit sa static deflection sa ilalim ng bigat ng mabibigat na gantry system, optical assemblies, at vacuum chambers.
Sa esensya, sa pamamagitan ng pagpili ng isang tiyak na natapos na base ng granite machine para sa mga aplikasyon ng LTPS Array, ang mga inhinyero ay nagtatatag ng isang pundasyon na matatag sa init, tahimik sa tunog, at matibay sa istruktura. Ang tatlong katangiang ito ay hindi maikakaila para sa pagkamit ng mga layunin sa throughput at yield na kinakailangan para sa modernong paggawa ng LTPS display.
Perpeksyon sa Inhinyeriya mula sa Kalikasan
Ang huling produkto—ang base ng makinang granite—ay napakalayo sa magaspang na batong pang-quarry. Ito ay isang obra maestra ng metrolohiya, na kadalasang tinatapos sa mga tolerance na sinusukat sa mababang-micron na saklaw o kahit sub-micron. Ginagamit ang mga espesyal na pamamaraan upang matiyak na ang granite ay hindi nababawasan ng stress at perpektong patag. Ang lubos na pinong natural na materyal na ito ay nagbibigay ng sukdulang reference plane kung saan ang lahat ng kasunod na mekanikal at optical na pagkakahanay ay kinakalkula.
Para sa mga tagagawa ng LTPS array equipment, tinitiyak ng integrasyon ng high-precision granite na ang kanilang mga makina ay maaaring patuloy na gumana sa pinakamataas na performance, na direktang isinasalin sa mas mataas na ani at mas mahusay na kalidad ng mga display para sa merkado ng mga mamimili. Ito ay isang patunay sa katotohanan na kapag hinihingi ng inhinyeriya ang ganap na perpeksyon, ang pagtingin sa pinakamatatag na natural na materyal ng mundo ay nagbibigay ng pinaka-maaasahang solusyon.
Oras ng pag-post: Disyembre-03-2025