I-decrypt ang "puwersa ng bato" sa likod ng paggawa ng semiconductor – Paano mababago ng mga bahagi ng granite precision ang hangganan ng katumpakan ng paggawa ng chip

Ang Rebolusyong Precision sa pagmamanupaktura ng semiconductor: Kapag ang granite ay nagtatagpo ng teknolohiyang micron
1.1 Mga hindi inaasahang tuklas sa agham ng mga materyales
Ayon sa ulat ng 2023 SEMI International Semiconductor Association, 63% ng mga makabagong pabrika sa mundo ang nagsimulang gumamit ng mga granite base sa halip na mga tradisyonal na metal platform. Ang natural na batong ito, na nagmula sa magma condensation na nasa kailaliman ng Daigdig, ay muling sumusulat ng kasaysayan ng paggawa ng semiconductor dahil sa mga natatanging pisikal na katangian nito:

Benepisyo ng thermal inertia: ang thermal expansion coefficient ng granite na 4.5×10⁻⁶/℃ ay 1/5 lamang ng sa stainless steel, at ang dimensional stability na ±0.001mm ay napananatili sa tuluy-tuloy na paggana ng lithography machine.

Mga katangian ng panginginig ng boses: ang panloob na koepisyent ng friction ay 15 beses na mas mataas kaysa sa cast iron, na epektibong sumisipsip ng micro-vibration ng kagamitan

Walang magnetization na katangian: ganap na inaalis ang magnetic error sa pagsukat ng laser

1.2 Ang paglalakbay ng metamorposis mula sa akin patungo sa kahanga-hanga
Kung gagamitin ang intelligent production base ng ZHHIMG sa Shandong bilang halimbawa, ang isang piraso ng hilaw na granite ay kailangang sumailalim sa:

Ultra-precision machining: five-axis linkage machining center para sa 200 oras ng tuluy-tuloy na paggiling, surface roughness hanggang Ra0.008μm

Artipisyal na paggamot sa pagtanda: 48 oras ng natural na pagpapakawala ng stress sa workshop na may pare-parehong temperatura at halumigmig, na nagpapabuti sa katatagan ng produkto ng 40%
Pangalawa, lutasin ang anim na problema sa katumpakan ng paggawa ng semiconductor na "solusyon sa bato"
2.1 Iskemang pagbabawas ng rate ng pagkapira-piraso ng wafer

Pagpapakita ng kaso: Matapos gamitin ng isang chip foundry sa Germany ang aming gas floating granite platform:

Diametro ng wafer	pagbawas ng bilis ng chip	pagpapabuti ng patag
12 pulgada	67%	≤0.001mm
18 pulgada	82%	≤0.0005mm

2.2 Iskemang pambihirang tagumpay sa katumpakan ng pagkakahanay ng litograpiko

Sistema ng kompensasyon ng temperatura: sinusubaybayan ng naka-embed na ceramic sensor ang variable ng hugis sa real time at awtomatikong inaayos ang pagkahilig ng platform
Sinukat na datos: sa ilalim ng pagbabago-bago ng 28℃±5℃, ang katumpakan ng pag-embed ay nagbabago-bago nang wala pang 0.12μm