Sa larangan ng high-end na pagmamanupaktura at cutting-edge na siyentipikong pananaliksik, ang ultra-precision motion module ng air float ay naging pangunahing kagamitan para sa mahusay na operasyon at pagsukat na may mahusay na precision performance. Ang base ng katumpakan ng granite, bilang pangunahing suporta, ay may mahigpit na mga kinakailangan para sa kapaligiran sa pagtatrabaho, at ang angkop na mga kondisyon sa kapaligiran ay ang batayan upang matiyak ang matatag na pagganap nito at ang pinakamahusay na epekto.
Una, temperatura control: precision "stabilizer"
Kahit na ang granite ay kilala sa katatagan nito, hindi ito ganap na immune sa mga pagbabago sa temperatura. Bagama't mababa ang coefficient ng thermal expansion nito, sa pangkalahatan ay 5-7 ×10⁻⁶/℃, sa mga ultra-precision na motion control na mga senaryo, ang banayad na pagbabagu-bago ng temperatura ay maaari pa ring magdulot ng mga pagbabago sa dimensyon at makaapekto sa katumpakan ng module. Sa pagawaan ng paggawa ng semiconductor chip, ang proseso ng litograpiya ay nangangailangan ng katumpakan ng pagpoposisyon sa antas ng danami, at ang temperatura ng paligid ay nagbabago ng 1 ° C, at ang base ng granite na may haba ng gilid na 1 metro ay maaaring makagawa ng isang linear na pagpapalawak o pag-urong ng 5-7 microns. Ang maliit na pagbabagong ito ay ipinadala sa pamamagitan ng ultra-precision motion module ng air float, na sapat na upang gawin ang chip lithography pattern deviation at lubos na mabawasan ang ani. Samakatuwid, nilagyan ng granite precision base ng air floating ultra-precision motion module, ang perpektong temperatura ng kapaligiran sa pagtatrabaho ay dapat na kontrolado sa 20 ° C ± 1 ° C, sa tulong ng high-precision constant temperature equipment, tulad ng pare-pareho ang temperatura at halumigmig na air conditioning system, patuloy na pagsubaybay at pagsasaayos ng ambient temperature, upang matiyak na ang pagbabagu-bago ng temperatura sa isang napakaliit na hanay ng operasyon, mapanatili ang katatagan ng base na sukat, mapanatili ang katatagan ng base ng module.
Pangalawa, pamamahala ng kahalumigmigan: ang susi sa moisture-proof na proteksyon "bato"
Ang kahalumigmigan ay isa pang mahalagang kadahilanan na nakakaapekto sa pagganap ng precision granite base. Sa isang kapaligiran na may mataas na kahalumigmigan, ang granite ay madaling sumipsip ng singaw ng tubig, na maaaring humantong sa paghalay sa ibabaw, na hindi lamang nakakaapekto sa katatagan ng koneksyon ng granite at ang ultra-precision motion module ng air float, ngunit maaari ring maging sanhi ng pagguho ng ibabaw at bawasan ang gloss at katumpakan sa katagalan. Sa optical lens grinding workshop, kung ang halumigmig ay mas mataas kaysa sa 60%RH sa mahabang panahon, ang singaw ng tubig na na-adsorbed sa ibabaw ng granite base ay makagambala sa paggalaw ng gas float slider, upang ang katumpakan ng paggiling ng lens ay nabawasan, at ang ibabaw ay may depekto. Samakatuwid, ang relatibong halumigmig ng kapaligiran sa pagtatrabaho ay dapat na mahigpit na kontrolin sa pagitan ng 40% -60% RH, na maaaring masubaybayan at maisaayos sa real time sa pamamagitan ng pag-install ng mga dehumidifier, humidity sensor at iba pang kagamitan upang maiwasan ang pinsala sa granite base dahil sa mataas na kahalumigmigan, at matiyak ang maayos na operasyon ng ultra-precision motion module ng air float.
Pangatlo, garantiya ng kalinisan: ang "tagapag-alaga" ng katumpakan
Ang pinsala ng mga particle ng alikabok sa precision granite base ng ultra-precision motion module ng air flotation ay hindi maaaring maliitin. Kapag ang maliliit na particle ay pumasok sa gas film gap sa pagitan ng gas float slider at ng granite base, maaari nilang sirain ang pagkakapareho ng gas film, dagdagan ang friction, at kahit na scratch ang ibabaw ng base, na nagreresulta sa pagbawas ng katumpakan ng paggalaw. Sa ultra-precision machining workshop ng mga bahagi ng aerospace, kung ang mga dust particle sa hangin ay bumagsak sa granite base, ang motion trajectory ng machining tool ay maaaring malihis, na nakakaapekto sa machining accuracy ng mga bahagi. Samakatuwid, ang lugar ng trabaho ay dapat na panatilihing napakalinis, na umaabot sa 10,000 o mas mataas na antas ng mga pamantayan sa kalinisan, sa pamamagitan ng pag-install ng mga kagamitan sa paglilinis ng hangin, tulad ng mga high efficiency air filter (HEPA), salain ang mga particle ng alikabok sa hangin, sa parehong oras, ang mga kawani ay kailangang magsuot ng walang alikabok na damit, mga takip ng sapatos, atbp., upang mabawasan ang alikabok na dala ng mga tao. Panatilihin ang high precision operating environment ng granite base at air float ultra-precision motion module.
Apat, paghihiwalay ng vibration: maayos na operasyon ng "shock pad"
Ang panlabas na vibration ay ang kaaway ng katumpakan ng ultra-precision motion module ng air float. Kahit na ang precision granite base ay may tiyak na kakayahan sa pagpapalambing ng vibration, ang mataas na lakas ng vibration ay maaari pa ring masira ang buffer limit nito. Ang vibration na nabuo ng trapiko sa paligid ng pabrika at ang pagpapatakbo ng malalaking mekanikal na kagamitan ay ipinapadala sa granite base sa pamamagitan ng lupa, na makagambala sa katumpakan ng paggalaw ng ultra-precision motion module ng air float. Sa high-end na CMM, ang vibration ay maaaring maging sanhi ng pagsukat sa pagitan ng pagsukat ng probe at ng workpiece na maging hindi matatag, na nagreresulta sa paglihis ng data ng pagsukat. Upang malutas ang problemang ito, kinakailangan na magpatibay ng mga epektibong hakbang sa paghihiwalay ng vibration, tulad ng paglalagay ng mga vibration isolation pad sa lugar ng pag-install ng kagamitan, pagbuo ng vibration isolation foundation, o paggamit ng aktibong vibration isolation system upang aktibong i-offset ang panlabas na vibration, at lumikha ng tahimik at matatag na kapaligiran sa pagtatrabaho para sa granite precision base at ang air float ultra-precision motion module.
Sa pamamagitan lamang ng ganap na pagtugon sa mga kinakailangan sa kapaligiran ng temperatura, halumigmig, kalinisan at kontrol ng panginginig ng boses, ang granite precision base ng ultra-precision motion module ng air float ay makakapagbigay ng ganap na paglalaro sa mga bentahe ng pagganap nito, makapagbibigay ng maaasahang garantiya para sa mga ultra-precision na operasyon sa iba't ibang larangan, at tulungan ang industriya na lumipat patungo sa mas mataas na antas ng pagmamanupaktura at siyentipikong pananaliksik.
Oras ng post: Abr-08-2025