Base ng granite: Bakit ito ang "ginintuang Kasosyo" ng mga makinang Photolithography?

Sa pagmamanupaktura ng semiconductor, ang makinang photolithography ay isang mahalagang aparato na tumutukoy sa katumpakan ng mga chips, at ang granite base, na may maraming katangian, ay naging isang kailangang-kailangan na bahagi ng makinang photolithography.

Katatagan ng init: Ang "Kalasag" Laban sa mga Pagbabago ng Temperatura
Kapag gumagana ang isang makinang photolithography, nakakabuo ito ng malaking init. Kahit ang pagbabago-bago ng temperatura na 0.1℃ lamang ay maaaring magdulot ng deformasyon ng mga bahagi ng kagamitan at makaapekto sa katumpakan ng photolithography. Ang coefficient of thermal expansion ng granite ay napakababa, 4-8 ×10⁻⁶/℃ lamang, na humigit-kumulang 1/3 ng bakal at 1/5 ng aluminum alloy. Nagbibigay-daan ito sa base ng granite na mapanatili ang dimensional stability kapag ang makinang photolithography ay matagal na gumagana o kapag nagbabago ang temperatura ng kapaligiran, na tinitiyak ang tumpak na pagpoposisyon ng mga optical component at mekanikal na istruktura.

Super anti-vibration performance: Ang "espongha" na sumisipsip ng vibration
Sa isang pabrika ng semiconductor, ang operasyon ng mga nakapalibot na kagamitan at ang paggalaw ng mga tao ay maaaring lumikha ng mga vibration. Ang granite ay may mataas na densidad at matigas na tekstura, at mayroon itong mahusay na mga katangian ng damping, na may damping ratio na 2 hanggang 5 beses kaysa sa mga metal. Kapag ang mga panlabas na vibration ay ipinapadala sa base ng granite, ang friction sa pagitan ng mga panloob na kristal ng mineral ay nagko-convert ng enerhiya ng vibration sa enerhiya ng init para sa dissipation, na maaaring makabuluhang bawasan ang vibration sa maikling panahon, na nagbibigay-daan sa makinang photolithography na mabilis na maibalik ang katatagan at maiwasan ang paglabo o maling pagkakahanay ng pattern ng photolithography dahil sa vibration.

Estabilidad ng Kemikal: Ang "Tagapangalaga" ng Isang Malinis na Kapaligiran
Ang loob ng isang makinang photolithography ay napapadikit sa iba't ibang kemikal na media, at ang mga ordinaryong metal na materyales ay madaling kapitan ng kalawang o paglabas ng mga particle. Ang granite ay binubuo ng mga mineral tulad ng quartz at feldspar. Ito ay may matatag na kemikal na katangian at malakas na resistensya sa kalawang. Matapos ibabad sa mga solusyon ng acid at alkali, ang kalawang sa ibabaw ay napakaliit. Samantala, ang siksik na istraktura nito ay halos hindi nakakabuo ng mga debris o alikabok, na nakakatugon sa mga kinakailangan ng pinakamataas na pamantayan ng cleanroom at binabawasan ang panganib ng kontaminasyon ng wafer.

Kakayahang umangkop sa pagproseso: Ang "ideal na materyal" para sa paglikha ng mga tumpak na benchmark
Ang mga pangunahing bahagi ng makinang photolithography ay kailangang mai-install sa isang high-precision reference surface. Ang panloob na istruktura ng granite ay pare-pareho at madali itong iproseso sa napakataas na katumpakan sa pamamagitan ng paggiling, pagpapakintab, at iba pang mga pamamaraan. Ang pagiging patag nito ay maaaring umabot sa ≤0.5μm/m, at ang surface roughness na Ra ay ≤0.05μm, na nagbibigay ng tumpak na batayan sa pag-install para sa mga bahagi tulad ng mga optical lens.

Mahabang buhay at walang maintenance: Ang "matalas na kagamitan" para sa pagbawas ng gastos
Kung ikukumpara sa mga materyales na metal na madaling mapagod at mabitak sa matagalang paggamit, ang granite ay halos hindi sumasailalim sa plastic deformation o bali sa ilalim ng normal na karga, at hindi ito nangangailangan ng surface treatment, kaya naiiwasan ang panganib ng pagbabalat at kontaminasyon ng patong. Sa mga praktikal na aplikasyon, pagkatapos gamitin nang maraming taon, ang mga pangunahing tagapagpahiwatig ng pagganap ng granite base ay maaari pa ring manatiling matatag, na binabawasan ang mga gastos sa operasyon at pagpapanatili ng kagamitan.

Mula sa thermal stability, vibration resistance hanggang sa chemical inertness, ang maraming katangian ng granite base ay perpektong nakakatugon sa mga kinakailangan ng photolithography machine. Habang patuloy na umuunlad ang proseso ng paggawa ng chip tungo sa mas mataas na katumpakan, ang mga granite base ay patuloy na gaganap ng hindi mapapalitang papel sa larangan ng paggawa ng semiconductor.