Sa paggawa ng semiconductor, ang makina ng photolithography ay isang pangunahing aparato na tumutukoy sa katumpakan ng mga chips, at ang base ng granite, kasama ang maraming katangian nito, ay naging isang kailangang-kailangan na bahagi ng makina ng photolithography.
Thermal stability: Ang "Shield" laban sa Temperature Changes
Kapag ang isang photolithography machine ay gumagana, ito ay bumubuo ng isang malaking halaga ng init. Kahit na ang pagbabagu-bago ng temperatura na 0.1 ℃ lamang ay maaaring magdulot ng deformation ng mga bahagi ng kagamitan at makaapekto sa katumpakan ng photolithography. Ang koepisyent ng thermal expansion ng granite ay napakababa, 4-8 ×10⁻⁶/℃ lamang, na humigit-kumulang 1/3 ng bakal at 1/5 ng aluminyo haluang metal. Ito ay nagbibigay-daan sa granite base na mapanatili ang dimensional na katatagan kapag ang photolithography machine ay gumagana nang mahabang panahon o kapag ang temperatura ng kapaligiran ay nagbabago, na tinitiyak ang tumpak na pagpoposisyon ng mga optical na bahagi at mekanikal na istruktura.
Super anti-vibration performance: Ang "sponge" na sumisipsip ng vibration
Sa isang pabrika ng semiconductor, ang pagpapatakbo ng mga nakapaligid na kagamitan at ang paggalaw ng mga tao ay maaaring makabuo ng mga vibrations. Ang granite ay may mataas na densidad at matigas na texture, at mayroon itong mahusay na mga katangian ng pamamasa, na may damping ratio na 2 hanggang 5 beses kaysa sa mga metal. Kapag ang mga panlabas na vibrations ay ipinadala sa granite base, ang friction sa pagitan ng mga panloob na mineral na kristal ay nagko-convert ng vibration energy sa heat energy para sa dissipation, na maaaring makabuluhang bawasan ang vibration sa maikling panahon, na nagpapahintulot sa photolithography machine na mabilis na maibalik ang katatagan at maiwasan ang pag-blur o misalignment ng pattern ng photolithography dahil sa vibration.
Katatagan ng kemikal: Ang "Tagapangalaga" ng Malinis na Kapaligiran
Ang interior ng isang photolithography machine ay nakikipag-ugnayan sa iba't ibang kemikal na media, at ang mga ordinaryong metal na materyales ay madaling kapitan ng kaagnasan o paglabas ng mga particle. Ang granite ay binubuo ng mga mineral tulad ng quartz at feldspar. Mayroon itong matatag na mga katangian ng kemikal at malakas na paglaban sa kaagnasan. Pagkatapos ibabad sa acid at alkali solution, ang surface corrosion ay napakaliit. Samantala, ang siksik na istraktura nito ay halos walang mga debris o alikabok, na nakakatugon sa mga kinakailangan ng pinakamataas na pamantayan ng cleanroom at binabawasan ang panganib ng kontaminasyon ng wafer.
Kakayahang umangkop sa pagproseso: Ang "perpektong materyal" para sa paggawa ng mga tumpak na benchmark
Ang mga pangunahing bahagi ng makina ng photolithography ay kailangang mai-install sa isang mataas na katumpakan na reference surface. Ang panloob na istraktura ng granite ay pare-pareho at ito ay madaling iproseso sa napakataas na katumpakan sa pamamagitan ng paggiling, buli at iba pang mga pamamaraan. Ang flatness nito ay maaaring umabot sa ≤0.5μm/m, at ang gaspang sa ibabaw na Ra ay ≤0.05μm, na nagbibigay ng tumpak na batayan sa pag-install para sa mga bahagi tulad ng mga optical lens.
Mahabang buhay at walang maintenance: Ang "matalim na tool" para sa pagbabawas ng gastos
Kung ikukumpara sa mga metal na materyales na madaling mapagod at mag-crack sa pangmatagalang paggamit, ang granite ay halos hindi sumasailalim sa plastic deformation o fracture sa ilalim ng normal na pagkarga, at hindi ito nangangailangan ng surface treatment, kaya iniiwasan ang panganib ng coating peeling at contamination. Sa mga praktikal na aplikasyon, pagkatapos gamitin sa loob ng maraming taon, ang mga pangunahing tagapagpahiwatig ng pagganap ng granite base ay maaari pa ring manatiling matatag, na binabawasan ang mga gastos sa pagpapatakbo at pagpapanatili ng kagamitan.
Mula sa thermal stability, vibration resistance sa chemical inertness, ang maraming katangian ng granite base ay perpektong nakakatugon sa mga kinakailangan ng photolithography machine. Habang ang proseso ng paggawa ng chip ay patuloy na umuunlad patungo sa mas mataas na katumpakan, ang mga base ng granite ay patuloy na gaganap ng isang hindi mapapalitang papel sa larangan ng paggawa ng semiconductor.
Oras ng post: Mayo-20-2025