Sa semiconductor manufacturing workshop, ang mga kinakailangan ng proseso ng paggawa ng chip para sa mga kondisyon sa kapaligiran at katumpakan ng kagamitan ay sukdulan, at anumang bahagyang paglihis ay maaaring humantong sa isang makabuluhang pagbaba sa ani ng chip. Ang XYZT precision gantry movement platform ay umaasa sa mga bahagi ng granite upang makipagtulungan sa iba pang bahagi ng platform upang bumuo ng matatag na pundasyon para sa pagkamit ng nanoscale accuracy.
Napakahusay na mga katangian ng pagharang ng vibration
Sa pagawaan ng pagmamanupaktura ng semiconductor, ang pagpapatakbo ng peripheral na kagamitan at mga tauhan na naglalakad sa paligid ay maaaring magdulot ng panginginig ng boses. Ang panloob na istraktura ng mga bahagi ng granite ay siksik at pare-pareho, na may mga likas na katangian ng mataas na pamamasa, tulad ng isang mahusay na "barrier" ng vibration. Kapag ang panlabas na vibration ay ipinadala sa XYZT platform, ang granite component ay maaaring epektibong magpapahina ng higit sa 80% ng vibration energy at mabawasan ang interference ng vibration sa katumpakan ng paggalaw ng platform. Kasabay nito, ang platform ay nilagyan ng high-precision air float guide system, na gumagana kasabay ng mga bahagi ng granite. Ginagamit ng air float guide ang stable gas film na nabuo ng high pressure na gas upang mapagtanto ang walang contact na paggalaw ng suspensyon ng mga gumagalaw na bahagi ng platform at bawasan ang maliit na vibration na dulot ng mekanikal na friction. Magkasama, tinitiyak ng dalawa na ang katumpakan ng pagpoposisyon ng platform ay palaging pinananatili sa antas ng nanometer sa mga pangunahing proseso tulad ng chip lithography at etching, at maiwasan ang paglihis ng mga pattern ng chip circuit na dulot ng vibration.
Napakahusay na thermal stability
Ang pagbabagu-bago ng temperatura at halumigmig sa pagawaan ay may malaking impluwensya sa katumpakan ng mga kagamitan sa paggawa ng chip. Ang koepisyent ng thermal expansion ng granite ay napakababa, sa pangkalahatan ay nasa 5-7 ×10⁻⁶/℃, halos hindi nagbabago ang laki kapag nagbabago ang temperatura. Kahit na ang pagkakaiba ng temperatura sa pagitan ng araw at gabi sa pagawaan o ang produksyon ng init ng kagamitan ay nagiging sanhi ng pagbabago sa temperatura ng kapaligiran, ang mga bahagi ng granite ay maaaring manatiling matatag upang maiwasan ang pagpapapangit ng platform dahil sa thermal expansion at contraction. Kasabay nito, ang intelligent na temperatura control system na nilagyan ng platform ay sinusubaybayan ang ambient temperature sa real time, awtomatikong inaayos ang air conditioning at heat dissipation equipment, at pinapanatili ang temperatura ng workshop sa 20 ° C ± 1 ° C. Kasama ang mga pakinabang ng granite heat stability, tiyakin na ang platform sa pangmatagalang operasyon, ang katumpakan ng paggalaw ng bawat axis ng chip ay palaging nakakatugon sa pattern ng pagmamanupaktura ng bawat axis, ang katumpakan ng chip ay palaging natutugunan ng chip nanometer. tumpak, ang lalim ng pag-ukit ay pare-pareho.
Matugunan ang mga pangangailangan ng malinis na kapaligiran
Ang semiconductor manufacturing shop ay kailangang mapanatili ang isang mataas na antas ng kalinisan upang maiwasan ang mga dust particle mula sa kontaminahin ang chip. Ang materyal na granite mismo ay hindi gumagawa ng alikabok, at ang ibabaw ay makinis, hindi madaling sumipsip ng alikabok. Ang platform sa kabuuan ay gumagamit ng isang ganap na sarado o semi-closed na disenyo ng istraktura upang mabawasan ang pagpasok ng panlabas na alikabok. Ang panloob na sistema ng sirkulasyon ng hangin ay nauugnay sa malinis na air conditioning system ng workshop upang matiyak na ang panloob na kalinisan ng hangin ay umabot sa antas na kinakailangan ng paggawa ng chip. Sa malinis na kapaligirang ito, ang mga bahagi ng granite ay hindi makakaapekto sa pagganap dahil sa pagguho ng alikabok, at ang mga pangunahing bahagi tulad ng mga high-precision na sensor at motor ng platform ay maaari ding gumana nang matatag, na nagbibigay ng tuluy-tuloy at maaasahang garantiya ng katumpakan ng nanoscale para sa paggawa ng chip, at pagtulong sa industriya ng semiconductor na lumipat sa isang mas mataas na antas ng proseso.
Oras ng post: Abr-14-2025