Sa precision laboratory para sa pagmamanupaktura ng mga chip, mayroong isang tila hindi kapansin-pansin na "bayani sa likod ng mga eksena" - ang base ng makinang granite. Huwag maliitin ang batong ito. Ito ang susi upang matiyak ang katumpakan ng hindi mapanirang pagsubok ng mga wafer! Ngayon, tingnan natin kung paano nito pinapanatili ang mga kagamitan sa pagtuklas na palaging "pahalang at patayo".
1. Ipinanganak na may "stable gene"
Ang granite ay hindi ordinaryong bato. Ang panloob na istraktura nito ay parang isang mahigpit na nakakabit na "mineral jigsaw puzzle". Ang kuwarts, feldspar at iba pang mga kristal ay malapit na nakaayos, na may napakataas na density at halos walang mga void. Ito ay tulad ng pagtatayo ng isang bahay na may reinforced concrete, na parehong solid at matatag. Kapag ang kagamitan sa inspeksyon ay "nakaupo" dito, kahit na tumitimbang ito ng ilang tonelada, ang pagpapapangit ng base ng granite ay bale-wala, isang ikasampu lamang ng bakal!
Ang mas kahanga-hanga ay halos hindi ito natatakot sa mga pagbabago sa temperatura. Ang mga ordinaryong metal na materyales ay may posibilidad na "lumawak at tumaba" kapag pinainit at "kumunot at nagiging mas payat" kapag pinalamig. Gayunpaman, ang granite ay tila may "constant temperature magic". Kapag ang temperatura ay nag-iiba ng 1 ℃, ang pagpapalawak at pag-urong nito ay isang-libong lamang ng buhok ng tao. Dapat pansinin na kahit na may kaunting pagbabago sa temperatura ng laboratoryo ng pagsubok, ang base ng granite ay maaaring matatag na suportahan ang kagamitan at maiwasan ang levelness mula sa "paglihis".
Pangalawa, ang pamamaraan ng pagpoproseso ng "mga detalye ng demonyo"
Upang gawing mas tumpak ang base ng granite, gumamit ang mga inhinyero ng "itim na teknolohiya" para sa pagproseso. Isipin ang pagbubuli ng mga bato gamit ang "super sandpaper" na gawa sa mga diamante - ito ang paraan ng paggana ng five-axis grinding machine. Ito ay gumiling sa ibabaw ng granite upang maging mas patag kaysa sa salamin sa tatlong hakbang:
Magaspang na paggiling: Una, alisin ang mga mantsa sa ibabaw ng bato at kontrolin ang flatness hanggang sa ikadalawampu ng buhok ng tao.
Semi-fine grinding: Karagdagang pagpipino, na ang flatness ay tumaas sa ikalimampu ng buhok ng tao.
Pinong paggiling: Sa wakas, ito ay pinakintab na may napakahusay na pulbos na nakakagiling, na nakakamit ng isang patag na isang-libong bahagi ng buhok ng tao! Sa puntong ito, ang ibabaw ng granite base ay parang "horizontal stage" na pinasadya para sa inspeksyon na kagamitan.
Ang ilang mga high-end na mount ay mayroon ding "matalinong utak" - ang built-in na high-precision na antas ay parang "maliit na bantay" na naka-duty 24 na oras sa isang araw. Kapag na-detect nito na ang kagamitan ay tumagilid ng 0.01 degrees (isang Anggulo na mas maliit kaysa sa dulo ng panulat), ang hydraulic device ay agad na i-activate at "ituwid" ang kagamitan sa loob ng 30 segundo.
Pangatlo, ang mapanlikhang disenyo ay higit na nagpapataas ng katatagan
Pinag-isipan din ng mga inhinyero ang istraktura ng base ng makina. Ang ilalim ay ginawang heksagonal na pulot-pukyutan na hugis, tulad ng pugad ng pukyutan, na hindi lamang nagpapababa ng timbang ngunit pantay na namamahagi ng presyon. Kapag ang detection probe ay gumagalaw sa wafer, ang deformation sa bawat punto ng base ay halos eksaktong pareho, na tinitiyak na ang pahalang na sanggunian ay nananatiling matatag sa lahat ng oras.
Ang mas kamangha-mangha ay ang isang "invisible shock absorber" - isang piezoelectric ceramic shock absorber - ay naka-install sa pagitan ng base at ng lupa. Makukuha nito ang iba't ibang vibrations mula 1 hanggang 1000Hz tulad ng isang radar at agad na naglalabas ng mga reverse wave upang "kontrahin" ang interference. Halimbawa, ang mga panginginig ng boses na dulot ng pagpapatakbo ng mga makina sa tabi ng pinto o ang mga pag-alog ng mga sasakyang dumadaan sa labas ay pawang "walang silbi" sa harap nito.
Ang data ay nagsasalita para sa sarili nito: Gaano Kalakas ang epekto?
Sa mga praktikal na aplikasyon, ang pagganap ng granite base ay talagang kahanga-hanga:
Optical na inspeksyon: Ang katumpakan ng pagtukoy ng mga depekto sa ibabaw sa mga wafer ay napabuti mula 3 micron hanggang 1 micron (1 micron = one-sixtieth ng buhok ng tao).
Ultrasonic testing: Ang error sa pagsukat ng kapal ng wafer ay nabawasan ng tatlong quarter.
Pangmatagalang paggamit: Pagkatapos ng tuluy-tuloy na operasyon sa loob ng isang taon, ang pagbabago sa levelness ay halos bale-wala, habang ang mga ordinaryong base ng makina ay matagal nang naging "hunched over".
Mula sa mga pakinabang ng mga likas na materyales hanggang sa tumpak na pagproseso at makabagong disenyo, ang granite base ay napatunayan sa kanyang "lakas" na kung nais mong tumpak na makakita ng mga chips, ang batong ito ay talagang kailangan!
Oras ng post: Hun-18-2025