Paano tinitiyak ng (ZHHIMG®) granite base na nakakamit ng kagamitan ng semiconductor ang katumpakan ng antas ng sub-micron?

Sa larangan ng pagmamanupaktura ng semiconductor, ang katumpakan ng sub-micron ay ang susi sa pagtiyak ng pagganap ng chip, at ang (ZHHIMG®) granite base, kasama ang mga materyal na katangian nito, tumpak na pagproseso at makabagong disenyo, ay naging pangunahing garantiya para sa pagkamit ng katumpakan na ito.

Mula sa pananaw ng mga materyal na katangian, ang itim na granite na pinili ng ZHHIMG® ay may density na humigit-kumulang 3100kg/m³, na may siksik na panloob na istraktura. Ang mataas na densidad na ito ay nagbibigay dito ng natitirang katatagan at katigasan. Sa panahon ng pagpapatakbo ng mga kagamitan sa semiconductor, ang pag-ikot ng mga motor at ang paggalaw ng mga mekanikal na bahagi sa loob ng kagamitan ay bubuo ng mga vibrations. Ang granite base ay maaaring epektibong sumisipsip ng higit sa 90% ng enerhiya ng panginginig ng boses, na makabuluhang binabawasan ang epekto ng vibration sa katumpakan ng kagamitan. Samantala, ang napakababang coefficient ng thermal expansion nito ay nagbibigay-daan dito na mapanatili ang deformation nito sa loob ng napakaliit na saklaw kapag nagbabago ang temperatura ng paligid, na nagbibigay ng matatag na pundasyon ng suporta para sa mga kagamitang semiconductor at pinipigilan ang pag-alis ng mga bahagi ng kagamitan dahil sa mga pagbabago sa temperatura, na maaaring makaapekto sa katumpakan.

Sa mga tuntunin ng pagproseso at pagmamanupaktura, ang pabrika ng ZHHIMG® ay gumagamit ng mga internasyonal na advanced na kagamitan sa pagproseso at may apat na napakalaking grinding machine (bawat makina ay nagkakahalaga ng higit sa 500,000usd), na maaaring magsagawa ng high-precision na paggiling sa granite. Sa pamamagitan ng five-axis linkage CNC machining at iba pang mga proseso, ang flatness ng machine base ay maaaring umabot sa nanometer level, na nagbibigay ng ultra-flat reference surface para sa pag-install ng semiconductor equipment at tinitiyak ang tumpak na pagpoposisyon ng bawat bahagi ng kagamitan. Bukod dito, ang patuloy na pagawaan ng temperatura at halumigmig (na sumasaklaw sa isang lugar na 10,000 metro kuwadrado) ay nagbibigay ng isang matatag na kapaligiran para sa pagproseso. Ang 500mm na lapad at 2000mm na malalim na anti-vibration trenches sa paligid nito, pati na rin ang mga silent crane, ay epektibong naghihiwalay ng external vibration interference at tinitiyak ang katumpakan ng pagproseso ng base ng makina.

Bilang karagdagan, ang ZHHIMG® ay mayroon ding malakas na kakayahan sa pag-customize. Para sa mga espesyal na pangangailangan ng mga kagamitang semiconductor, ang mga tumpak na butas sa pag-install at mga cable tray ay maaaring gawing gawa upang makamit ang perpektong pagkakatugma sa pagitan ng kagamitan at base. Kasabay nito, kasama ang world-class na metrology at testing equipment tulad ng German Mahr minute gauge (na may katumpakan na 0.5um) at ang Swiss WYLER electronic level, ang base ng makina ay mahigpit na sinisiyasat at na-calibrate upang matiyak na ang bawat base ng makina ay maaaring matugunan ang mahigpit na mga kinakailangan ng mga kagamitan sa semiconductor para sa katumpakan ng antas ng sub-micron.

Ito ay tiyak na kumbinasyon ng mga kalamangan na ito ang gumagawa ng ZHHIMG® granite base na isang maaasahang pagpipilian para sa pagkamit ng sub-micron na katumpakan sa mga kagamitang semiconductor, na tumutulong sa pagmamanupaktura ng semiconductor na lumipat patungo sa mas mataas na mga larangan ng katumpakan.