Paano tinitiyak ng (ZHHIMG®) granite base na ang kagamitang semiconductor ay nakakamit ng katumpakan sa antas na sub-micron?

Sa larangan ng pagmamanupaktura ng semiconductor, ang sub-micron na katumpakan ang susi sa pagtiyak ng pagganap ng chip, at ang (ZHHIMG®) granite base, kasama ang mga katangian ng materyal, tumpak na pagproseso at makabagong disenyo, ay naging pangunahing garantiya para sa pagkamit ng katumpakan na ito.

Mula sa perspektibo ng mga katangian ng materyal, ang itim na granite na pinili ng ZHHIMG® ay may densidad na humigit-kumulang 3100kg/m³, na may siksik na panloob na istraktura. Ang mataas na densidad na ito ay nagbibigay dito ng natatanging katatagan at katigasan. Sa panahon ng pagpapatakbo ng kagamitang semiconductor, ang pag-ikot ng mga motor at ang paggalaw ng mga mekanikal na bahagi sa loob ng kagamitan ay lilikha ng mga panginginig. Ang base ng granite ay epektibong kayang sumipsip ng mahigit 90% ng enerhiya ng panginginig, na makabuluhang binabawasan ang epekto ng panginginig sa katumpakan ng kagamitan. Samantala, ang napakababang coefficient ng thermal expansion nito ay nagbibigay-daan dito upang mapanatili ang deformasyon nito sa loob ng napakaliit na saklaw kapag ang temperatura ng paligid ay nagbabago-bago, na nagbibigay ng matatag na pundasyon ng suporta para sa kagamitang semiconductor at pinipigilan ang pag-alis ng mga bahagi ng kagamitan dahil sa mga pagbabago sa temperatura, na maaaring makaapekto sa katumpakan.

Sa usapin ng pagproseso at pagmamanupaktura, ang pabrika ng ZHHIMG® ay gumagamit ng mga internasyonal na advanced na kagamitan sa pagproseso at may apat na napakalaking makinang panggiling (ang bawat makina ay nagkakahalaga ng mahigit 500,000usd), na kayang magsagawa ng high-precision grinding sa granite. Sa pamamagitan ng five-axis linkage CNC machining at iba pang mga proseso, ang pagiging patag ng base ng makina ay maaaring umabot sa antas ng nanometer, na nagbibigay ng ultra-flat reference surface para sa pag-install ng mga kagamitang semiconductor at tinitiyak ang tumpak na pagpoposisyon ng bawat bahagi ng kagamitan. Bukod dito, ang constant temperature at humidity workshop (na sumasaklaw sa isang lugar na 10,000 metro kuwadrado) ay nagbibigay ng matatag na kapaligiran para sa pagproseso. Ang 500mm ang lapad at 2000mm ang lalim na anti-vibration trenches sa paligid nito, pati na rin ang mga silent crane, ay epektibong naghihiwalay ng external vibration interference at tinitiyak ang katumpakan ng pagproseso ng base ng makina.

Bukod pa rito, ang ZHHIMG® ay mayroon ding malakas na kakayahan sa pagpapasadya. Para sa mga espesyal na pangangailangan ng kagamitang semiconductor, maaaring ihanda ang mga tumpak na butas sa pag-install at mga cable tray upang makamit ang perpektong pagkakatugma sa pagitan ng kagamitan at ng base. Kasabay nito, kasabay ng mga kagamitang pang-metrolohiya at pagsubok na may pandaigdigang antas tulad ng German Mahr minute gauge (na may katumpakan na 0.5um) at ang Swiss WYLER electronic level, ang base ng makina ay mahigpit na iniinspeksyon at kinakalibrate upang matiyak na ang bawat base ng makina ay makakatugon sa mahigpit na mga kinakailangan ng kagamitang semiconductor para sa katumpakan sa antas na sub-micron.

Ang kombinasyon ng mga bentaheng ito ang dahilan kung bakit ang ZHHIMG® granite base ay isang maaasahang pagpipilian para sa pagkamit ng sub-micron precision sa mga kagamitan ng semiconductor, na tumutulong sa paggawa ng semiconductor na umusad patungo sa mas mataas na precision fields.