Paano Pinapabuti ng mga High-Precision Granite Machine Base ang Katumpakan ng Kagamitan sa Inspeksyon ng Wafer.

ISa industriya ng pagmamanupaktura ng semiconductor, ang katumpakan ng kagamitan sa inspeksyon ng wafer ay mahalaga para matiyak ang kalidad ng mga integrated circuit. Ang mga high-precision granite machine base, tulad ng mga ibinibigay ng ZHHIMG®, ay gumaganap ng mahalagang papel sa pagpapahusay ng pagganap ng mga naturang kagamitan. Narito kung paano sila nakakagawa ng pagkakaiba.
Pambihirang Katatagan ng Dimensyon Ipinagmamalaki ng Granite ang napakababang thermal expansion coefficient, sa bandang (4–8)×10⁻⁶/℃, na mas mababa nang malaki kaysa sa maraming metal. Sa mahigpit na kinokontrol na kapaligiran ng mga pabrika ng semiconductor, kung saan kahit ang maliliit na pagbabago-bago ng temperatura ay maaaring magdulot ng mga error sa pagsukat, nananatiling matatag ang mga base ng granite machine. Tinitiyak ng katatagang ito na ang pagpoposisyon ng mga bahagi sa kagamitan sa inspeksyon ng wafer ay nananatiling tumpak, na pumipigil sa anumang mga paglihis na dulot ng thermal na maaaring makaapekto sa katumpakan ng mga resulta ng inspeksyon.

Superior Vibration DampingAng mga sahig ng produksyon ay kadalasang puno ng mga vibration mula sa iba't ibang pinagmulan. Ang likas na katangian ng damping ng granite, na may damping ratio na 0.05–0.1, ay epektibong sumisipsip at nagpapakalat ng mga vibration na ito. Para sa wafer insp
Dahil sa eksyon, na nangangailangan ng high-resolution imaging at tumpak na pagbasa ng sensor, napakahalaga ng pagbawas sa mga vibration na ibinibigay ng mga granite base. Binabawasan nito ang interference na maaaring magpalabo ng mga imahe o magpabaluktot sa data ng sensor, na nagbibigay-daan sa kagamitan na makakuha ng malinaw at tumpak na impormasyon tungkol sa ibabaw at panloob na istruktura ng wafer.
Mataas na Katigasan at Paglaban sa Pagkasuot. Sa densidad na humigit-kumulang 3100 kg/m³, ang mga base ng makinang granite ng ZHHIMG® ay nag-aalok ng kahanga-hangang katigasan. Kaya nilang suportahan ang mabibigat na bahagi ng kagamitan sa pag-inspeksyon ng wafer nang hindi nababago ang hugis, na nagpapanatili ng pagkakahanay ng mga optical at mechanical system. Bukod pa rito, ang mataas na katigasan ng granite (Mohs scale 6–7) at mahusay na resistensya sa pagkasuot ay tinitiyak na ang ibabaw ng base ng makina ay nananatiling patag at makinis sa paglipas ng panahon. Ang pagkakapare-parehong ito ay mahalaga para sa pangmatagalang katumpakan, dahil ang anumang pagkasira o deformasyon sa base ay maaaring unti-unting magpababa sa katumpakan ng kagamitan.
Kawalang-kilos ng KemikalAng paggawa ng semiconductor ay kinabibilangan ng pagkakalantad sa iba't ibang kemikal. Ang kawalang-kilos ng kemikal ng granite ay ginagawa itong lumalaban sa kalawang mula sa mga sangkap na ito. Pinoprotektahan ng katangiang ito ang integridad ng base ng makina, na pumipigil sa pinsalang dulot ng kemikal na maaaring makaapekto sa katatagan at katumpakan ng kagamitan sa inspeksyon.
Bilang konklusyon, ang mga high-precision granite machine base ay hindi lamang isang bahagi kundi isang mahalagang tagapagbigay-daan para makamit ang eksaktong mga kinakailangan sa katumpakan ng kagamitan sa inspeksyon ng wafer. Kapag pumipili ng mga granite machine base, pumili ng mga mapagkakatiwalaang provider tulad ng ZHHIMG®. Dahil sa maraming sertipikasyon at pangako sa kalidad, tinitiyak ng ZHHIMG® na ang bawat granite machine base ay naghahatid ng pagiging maaasahan at pagganap na kinakailangan para sa advanced na paggawa ng semiconductor.