Paano Pinapabuti ng High-Precision Granite Machine Bases ang Wafer Inspection Equipment Accuracy.

Isa industriya ng pagmamanupaktura ng semiconductor, ang katumpakan ng kagamitan sa pag-inspeksyon ng wafer ay mahalaga para matiyak ang kalidad ng mga integrated circuit. Ang mga base ng makinang granite na may mataas na katumpakan, tulad ng ibinigay ng ZHHIMG®, ay gumaganap ng mahalagang papel sa pagpapahusay ng pagganap ng naturang kagamitan. Narito kung paano sila gumawa ng isang pagkakaiba.
Ipinagmamalaki ng Exceptional Dimensional StabilityGranite ang napakababang thermal expansion coefficient, sa paligid (4–8)×10⁻⁶/℃, na mas mababa kaysa sa maraming metal. Sa mahigpit na kinokontrol na kapaligiran ng mga pabrika ng semiconductor, kung saan kahit na ang maliit na pagbabago ng temperatura ay maaaring magdulot ng mga error sa pagsukat, ang mga base ng makinang granite ay nananatiling matatag. Tinitiyak ng stability na ito na ang pagpoposisyon ng mga bahagi sa wafer inspection equipment ay mananatiling tumpak, na pumipigil sa anumang thermal-induced deviations na maaaring makaapekto sa katumpakan ng mga resulta ng inspeksyon.

Ang Superior Vibration DampingProduction floor ay kadalasang puno ng vibrations mula sa iba't ibang source. Ang mga likas na katangian ng damping ng Granite, na may damping ratio na 0.05–0.1, ay epektibong sumisipsip at nagwawaldas ng mga vibrations na ito. Para sa wafer insp
ection, na nangangailangan ng high-resolution na imaging at tumpak na pagbabasa ng sensor, ang pagbawas sa mga vibrations na ibinigay ng mga granite base ay napakahalaga. Pinaliit nito ang interference na maaaring mag-blur ng mga larawan o masira ang data ng sensor, na nagbibigay-daan sa kagamitan na makakuha ng malinaw at tumpak na impormasyon tungkol sa ibabaw at panloob na istraktura ng wafer.
Mataas na Rigidity at Wear ResistanceNa may density na humigit-kumulang 3100 kg/m³, ang mga base ng makinang granite ng ZHHIMG® ay nag-aalok ng kapansin-pansing tigas. Maaari nilang suportahan ang mabibigat na bahagi ng kagamitan sa pag-inspeksyon ng wafer nang hindi nababago, pinapanatili ang pagkakahanay ng mga optical at mekanikal na sistema. Bukod pa rito, tinitiyak ng mataas na tigas ng granite (Mohs scale 6–7) at mahusay na resistensya sa pagsusuot na ang ibabaw ng base ng makina ay nananatiling patag at makinis sa paglipas ng panahon. Ang pagkakapare-pareho na ito ay mahalaga para sa pangmatagalang katumpakan, dahil ang anumang pagkasira o pagpapapangit sa base ay maaaring unti-unting pababain ang katumpakan ng kagamitan.
Chemical InertnessAng paggawa ng semiconductor ay nagsasangkot ng pagkakalantad sa iba't ibang kemikal. Ang chemical inertness ng Granite ay ginagawa itong lumalaban sa kaagnasan mula sa mga sangkap na ito. Pinoprotektahan ng property na ito ang integridad ng base ng makina, na pumipigil sa pinsalang dulot ng kemikal na maaaring makaapekto sa katatagan at katumpakan ng kagamitan sa inspeksyon.
Sa konklusyon, ang mga base ng makinang granite na may mataas na katumpakan ay hindi lamang isang bahagi ngunit isang pangunahing enabler para sa pagkamit ng eksaktong mga kinakailangan sa katumpakan ng kagamitan sa inspeksyon ng wafer. Kapag pumipili ng mga base ng makinang granite, piliin ang mga pinagkakatiwalaang provider tulad ng ZHHIMG®. Sa maraming mga sertipikasyon at isang pangako sa kalidad, tinitiyak ng ZHHIMG® na ang bawat base ng makina ng granite ay naghahatid ng pagiging maaasahan at pagganap na kailangan para sa advanced na paggawa ng semiconductor.