Sa mga larangan tulad ng paggawa ng semiconductor at mga instrumento sa pagsukat ng katumpakan, direktang tinutukoy ng katumpakan ng mga platform ng katumpakan ng granite ang kalidad ng pagpapatakbo ng kagamitan. Upang matiyak na ang katumpakan ng platform ay nakakatugon sa mga pamantayan, ang mga pagsisikap ay dapat gawin mula sa dalawang aspeto: ang pagtuklas ng mga pangunahing tagapagpahiwatig at pagsunod sa mga karaniwang pamantayan. ang
Pagtukoy sa core indicator: Multi-dimensional na kontrol ng katumpakan
Flatness detection: Pagtukoy sa "flatness" ng reference plane
Ang flatness ay ang pangunahing tagapagpahiwatig ng mga platform ng katumpakan ng granite, at kadalasang sinusukat ito ng mga laser interferometer o electronic na antas. Ang laser interferometer ay maaaring tumpak na masukat ang mga minutong undulations sa ibabaw ng platform sa pamamagitan ng paglabas ng laser beam at paggamit ng prinsipyo ng light interference, na may katumpakan na umaabot sa sub-micron level. Ang elektronikong antas ay sumusukat sa pamamagitan ng paggalaw ng maraming beses at gumuhit ng three-dimensional na contour na mapa ng ibabaw ng platform upang makita kung mayroong anumang mga lokal na protrusions o depression. Halimbawa, ang mga granite platform na ginagamit sa mga semiconductor photolithography machine ay kinakailangang magkaroon ng flatness na ±0.5μm/m, ibig sabihin, ang pagkakaiba sa taas sa loob ng 1 metrong haba ay hindi dapat lumampas sa kalahating micrometer. Sa pamamagitan lamang ng high-precision detection equipment masisiguro ang mahigpit na pamantayang ito. ang
2. Straightness detection: Tiyakin ang "straightness" ng linear motion
Para sa mga platform na nagdadala ng tumpak na gumagalaw na mga bahagi, ang pagiging tuwid ay napakahalaga. Ang mga karaniwang paraan para sa pagtuklas ay ang wire method o ang laser collimator. Kasama sa paraan ng wire ang pagsususpinde ng mga high-precision na steel wire at paghahambing ng agwat sa pagitan ng ibabaw ng platform at ng mga wire na bakal upang matukoy ang straightness. Ginagamit ng laser collimator ang linear propagation na katangian ng laser para makita ang linear error ng installation surface ng platform guide rail. Kung ang straightness ay hindi nakakatugon sa pamantayan, ito ay magiging sanhi ng paglipat ng kagamitan sa panahon ng paggalaw, na makakaapekto sa pagproseso o katumpakan ng pagsukat. ang
3. Pag-detect ng pagkamagaspang sa ibabaw: Tiyakin ang "fineness" ng contact
Ang pagkamagaspang sa ibabaw ng platform ay nakakaapekto sa akma ng pag-install ng bahagi. Sa pangkalahatan, ginagamit ang isang stylus roughness meter o isang optical microscope para sa pagtuklas. Itinatala ng instrumento ng uri ng stylus ang mga pagbabago sa taas ng mikroskopikong profile sa pamamagitan ng pakikipag-ugnayan sa ibabaw ng platform gamit ang isang pinong probe. Maaaring direktang obserbahan ng mga optical microscope ang texture ng ibabaw. Sa mga high-precision na application, ang pagkamagaspang sa ibabaw ng mga granite platform ay kailangang kontrolin sa Ra≤0.05μm, na katumbas ng isang mala-salamin na epekto, na tinitiyak na ang mga bahagi ng katumpakan ay magkasya nang mahigpit sa panahon ng pag-install at pag-iwas sa vibration o displacement na dulot ng mga gaps. ang
Ang mga pamantayan ng katumpakan ay sumusunod: mga internasyonal na pamantayan at panloob na kontrol ng negosyo
Sa kasalukuyan, sa buong mundo, ang mga pamantayang ISO 25178 at GB/T 24632 ay karaniwang ginagamit bilang batayan para sa pagtukoy ng katumpakan ng mga granite platform, at may mga malinaw na klasipikasyon para sa mga tagapagpahiwatig tulad ng flatness at straightness. Bilang karagdagan, ang mga high-end na negosyo sa pagmamanupaktura ay madalas na nagtatakda ng mas mahigpit na mga pamantayan sa panloob na kontrol. Halimbawa, ang kinakailangang flatness para sa granite platform ng photolithography machine ay 30% na mas mataas kaysa sa internasyonal na pamantayan. Kapag nagsasagawa ng mga pagsubok, ang sinusukat na data ay dapat ihambing sa kaukulang mga pamantayan. Tanging ang mga platform na ganap na sumusunod sa mga pamantayan ang makakasigurado ng matatag na pagganap sa precision equipment. ang
Ang pag-inspeksyon sa katumpakan ng mga granite precision platform ay isang sistematikong proyekto. Sa pamamagitan lamang ng mahigpit na pagsubok sa mga core indicator tulad ng flatness, straightness, at surface roughness, at pagsunod sa mga international at enterprise standards, masisiguro ang mataas na katumpakan at pagiging maaasahan ng platform, na naglalagay ng matatag na pundasyon para sa mga high-end na larangan ng pagmamanupaktura gaya ng semiconductors at precision na instrumento.
Oras ng post: Mayo-21-2025