Ang Granite ay isa sa mga pinakasikat na materyales na ginagamit sa mga aparatong semiconductor.Ito ay isang uri ng matigas, igneous na bato na may iba't ibang kulay ng kulay abo, rosas, at puti.Ang Granite ay kilala sa tibay nito, mababang thermal expansion coefficient, at mahusay na thermal conductivity, na ginagawa itong mainam na materyal para gamitin sa mga subsystem ng semiconductor device.
Ang isa sa mga pangunahing subsystem na gumagamit ng granite sa mga semiconductor device ay ang wafer handling at processing subsystem.Ang subsystem na ito ay gumaganap ng isang mahalagang papel sa proseso ng pagmamanupaktura ng mga semiconductor device.Ang wafer ay ang panimulang substrate para sa device, at ang handling at processing subsystem ay responsable para sa paglilipat ng mga wafer sa pagitan ng iba't ibang chamber at processing equipment.Ginagamit ang Granite upang lumikha ng lubos na tumpak at patag na mga ibabaw ng paghawak ng wafer at nagbibigay ng isang matatag na platform para sa pagproseso ng wafer.
Ang isa pang kritikal na subsystem na gumagamit ng granite ay ang vacuum subsystem.Sa mga semiconductor device, ang mga vacuum chamber ay ginagamit upang maiwasan ang kontaminasyon sa panahon ng pagmamanupaktura.Para gumana nang epektibo ang sistemang ito, dapat na ganap na selyado ang silid, kung saan pumapasok ang granite. Ang granite ay isang mainam na materyal para sa mga vacuum chamber dahil napakababa nito ang mga rate ng outgassing at maaaring mapanatili ang isang matatag na kapaligiran ng vacuum.Bukod pa rito, ang mataas na katumpakan ng machining ng granite ay nagbibigay-daan para sa paglikha ng isang perpektong selyo, na nagbibigay ng maaasahang kapaligiran ng vacuum para sa pagpoproseso ng wafer.
Ang alignment subsystem ay isa pang kritikal na sistema na gumagamit ng mga natatanging katangian ng granite.Ang subsystem na ito ay responsable para sa pag-align ng iba't ibang bahagi ng mga semiconductor device nang may katumpakan at katumpakan.Ginagamit ang Granite sa disenyo at pagtatayo ng mga yugto ng pagkakahanay upang matiyak ang mataas na higpit at katatagan.Ang mataas na katigasan ng granite ay nakakatulong sa pagkamit ng mataas na katumpakan ng pagkakahanay, na humahantong sa paggawa ng lubos na tumpak at maaasahang mga aparatong semiconductor.
Sa wakas, ang subsystem ng metrology ay isa pang sistema ng mga aparatong semiconductor na gumagamit ng granite.Ang Metrology ay gumaganap ng mahalagang papel sa pagpoproseso ng wafer, at ang katumpakan ng subsystem na ito ay kritikal sa pagtiyak ng kalidad ng device.Nagbibigay ang Granite ng matatag at matigas na platform na tumutulong sa pagbabawas ng mga vibrations at pagliit ng epekto ng mga pagbabago sa temperatura.Ito naman, ay nakakatulong sa pagkamit ng lubos na tumpak na mga sukat sa subsystem ng metrology, na humahantong sa produksyon ng mga de-kalidad na aparatong semiconductor.
Sa konklusyon, ang granite ay isang mahalagang materyal sa paggawa ng mga aparatong semiconductor.Ang mga natatanging katangian nito tulad ng mataas na tigas, mababang thermal expansion, at mahusay na thermal conductivity ay ginagawa itong isang mahusay na materyal para sa ilang subsystem sa mga semiconductor device, kabilang ang paghawak at pagproseso ng wafer, vacuum subsystem, alignment subsystem, at metrology subsystem.Bukod dito, ang paggamit ng granite sa mga aparatong semiconductor ay nakatulong sa paggawa ng lubos na tumpak, maaasahan at mahusay na mga kagamitan na nagpabago sa maraming industriya.
Oras ng post: Mar-19-2024