Sa mga aparatong semiconductor, aling mga core subsystem ang pangunahing ginagamit na granite?

Ang granite ay isa sa mga pinakasikat na materyales na ginagamit sa mga semiconductor device. Ito ay isang uri ng matigas at igneous rock na may iba't ibang kulay ng abo, rosas, at puti. Ang granite ay kilala sa tibay, mababang thermal expansion coefficient, at mahusay na thermal conductivity, kaya isa itong mainam na materyal para sa paggamit sa mga semiconductor device subsystem.

Isa sa mga pangunahing subsystem na gumagamit ng granite sa mga semiconductor device ay ang wafer handling and processing subsystem. Ang subsystem na ito ay gumaganap ng mahalagang papel sa proseso ng paggawa ng mga semiconductor device. Ang wafer ang panimulang substrate para sa device, at ang handling and processing subsystem ang responsable sa paglilipat ng mga wafer sa pagitan ng iba't ibang chamber at processing equipment. Ginagamit ang granite upang lumikha ng mga lubos na tumpak at patag na wafer handling surface at nagbibigay ng matatag na plataporma para sa wafer processing.

Ang isa pang kritikal na subsystem na gumagamit ng granite ay ang vacuum subsystem. Sa mga semiconductor device, ginagamit ang mga vacuum chamber upang maiwasan ang kontaminasyon habang ginagawa ang paggawa. Para gumana nang epektibo ang sistemang ito, dapat na ganap na selyado ang chamber, kung saan pumapasok ang granite. Ang granite ay isang mainam na materyal para sa mga vacuum chamber dahil napakababa ng outgassing rate nito at kayang mapanatili ang isang matatag na vacuum environment. Bukod pa rito, ang mataas na machining precision ng granite ay nagbibigay-daan para sa paglikha ng isang perpektong seal, na nagbibigay ng isang maaasahang vacuum environment para sa wafer processing.

Ang alignment subsystem ay isa pang kritikal na sistema na gumagamit ng mga natatanging katangian ng granite. Ang subsystem na ito ay responsable para sa pag-align ng iba't ibang bahagi ng mga semiconductor device nang may katumpakan at katumpakan. Ginagamit ang granite sa disenyo at konstruksyon ng mga yugto ng pag-align upang matiyak ang mataas na tigas at katatagan. Ang mataas na tigas ng granite ay nakakatulong sa pagkamit ng mataas na katumpakan ng pag-align, na humahantong sa produksyon ng mga lubos na tumpak at maaasahang semiconductor device.

Panghuli, ang metrology subsystem ay isa pang sistema ng mga semiconductor device na gumagamit ng granite. Ang metrology ay gumaganap ng mahalagang papel sa pagproseso ng wafer, at ang katumpakan ng subsystem na ito ay kritikal sa pagtiyak ng kalidad ng device. Ang granite ay nagbibigay ng matatag at matibay na plataporma na nakakatulong sa pagbabawas ng mga vibration at pagliit ng epekto ng mga pagbabago-bago ng temperatura. Ito naman ay nakakatulong sa pagkamit ng lubos na tumpak na mga sukat sa metrology subsystem, na humahantong sa produksyon ng mga de-kalidad na semiconductor device.

Bilang konklusyon, ang granite ay isang mahalagang materyal sa paggawa ng mga semiconductor device. Ang mga natatanging katangian nito tulad ng mataas na rigidity, mababang thermal expansion, at mahusay na thermal conductivity ay ginagawa itong isang mahusay na materyal para sa ilang subsystem sa mga semiconductor device, kabilang ang wafer handling and processing, vacuum subsystem, alignment subsystem, at metrology subsystem. Bukod dito, ang paggamit ng granite sa mga semiconductor device ay nakatulong sa paggawa ng mga lubos na tumpak, maaasahan, at mahusay na mga device na nagpabago sa maraming industriya.