n ang mundo ng pagmamanupaktura ng semiconductor, ang tumpak at tumpak na kagamitan ay kritikal upang makagawa ng mga de-kalidad na chip.Maraming bahagi ng pasilidad ng pagmamanupaktura ng semiconductor na dapat gumamit ng mga materyales na may mga partikular na katangian upang matiyak ang maaasahan at mataas na katumpakan na operasyon.
Ang isang materyal na naging isang karaniwang bahagi ng kagamitan sa semiconductor ay granite.Kilala sa lakas at katatagan nito, ang granite ay isang mahusay na materyal para sa paggawa at paggawa ng mga bahagi na ginagamit sa mga kagamitang semiconductor.Narito ang ilan sa mga bahagi ng semiconductor equipment na karaniwang gumagamit ng granite material:
1. Mga base plate
Ang mga base plate ng semiconductor na kagamitan ay kailangang sobrang flat at stable upang mabawasan ang mga vibrations at mga pagkakaiba-iba sa temperatura.At ang granite ay isa sa ilang mga materyales na maaaring matugunan ang mga kinakailangang ito.Ang Granite ay isang dimensional na matatag na materyal na lumalaban sa warping at thermal expansion, na tinitiyak na ang base plate ay nagpapanatili ng flatness nito sa paglipas ng panahon.
2. Mga yugto
Ang mga yugto ay mga kritikal na bahagi sa kagamitang semiconductor na gumaganap ng mga tumpak na paggalaw para sa mga proseso ng pagmamanupaktura tulad ng pagpoposisyon ng wafer, pag-ukit, at pag-deposition.Ang mga yugto ng granite ay malawakang ginagamit sa mga kagamitang semiconductor dahil sa kanilang mataas na higpit, mababang pagpapalawak ng thermal, at mahusay na mga katangian ng pamamasa.Sa mga yugto ng granite, ang mga paggalaw ay mas tumpak, at ang kagamitan ay may mas mababang panganib ng pagkabigo.
3. Mga linear na gabay
Ang mga linear na gabay ay mga mekanikal na kagamitan na nagbibigay ng linear na paggalaw kasama ang dalawang parallel na riles.Kailangan nilang maging lubhang matatag at tumpak, at ang granite ay ang perpektong materyal para sa layuning ito.Ang high-stiffness at damping properties ng granite ay ginagawa itong isang popular na pagpipilian para sa mga linear guide na ginagamit sa semiconductor equipment, na tinitiyak ang katatagan, at katumpakan sa proseso ng pagmamanupaktura.
4. Chucks
Ang mga chuck ay ginagamit upang hawakan at iposisyon ang mga wafer sa panahon ng iba't ibang proseso ng pagmamanupaktura.Ang mga granite chuck ay sikat dahil sa kanilang flatness at thermal stability.Dahil sa mababang thermal expansion ng granite, ang mga chuck na ginawa mula sa materyal na ito ay hindi nag-warp o nagbabago ng mga sukat kapag nalantad sa mga pagbabago sa temperatura.
5. Inspeksyon plates
Ang mga plato ng inspeksyon ay ginagamit upang suriin ang kalidad ng mga produkto na ginawa sa kagamitang semiconductor.Ang mga plate na ito ay kailangang sobrang flat at stable, at nakakapagpakita ng liwanag nang tumpak.Ang mataas na reflectivity ng Granite, flatness sa ibabaw, at dimensional na katatagan ay ginagawa itong popular na pagpipilian para sa mga inspeksyon na plato sa mga kagamitang semiconductor.
Sa konklusyon, ang mga elemento ng granite ay malawakang ginagamit para sa mga bahagi ng katumpakan sa mga kagamitan sa semiconductor, at ang kanilang paggamit ay inaasahang lalawak dahil sa kanilang mahusay na mga katangian.Sa kanilang mataas na higpit, mababang thermal expansion, at mahusay na mga katangian ng damping, ang mga elemento ng granite ay nagbibigay ng kinakailangang katatagan, katumpakan, at repeatability para sa pagsasagawa ng nano-scale na mga operasyon sa semiconductor equipment.Ang mga kumpanyang gumagawa ng de-kalidad na kagamitang semiconductor ay namumuhunan sa pinakamahusay na mga materyales upang mabigyan ang kanilang mga produkto ng pinakamahusay na pagkakataon para sa tagumpay, at ang granite ay patuloy na isang go-to na materyal dahil sa mahusay na mga katangian at pagiging maaasahan nito.
Oras ng post: Mar-19-2024