Ang mga materyales na granite ay malawakang ginagamit sa industriya ng semiconductor dahil sa kanilang mahusay na mga katangian, tulad ng mataas na katatagan, mababang thermal expansion, at mataas na resistensya sa kalawang. Ang mga katangiang ito ang dahilan kung bakit ang granite ay isang mainam na materyal para sa paggawa ng mga high-precision na bahagi sa isang wafer transfer system.
Sa proseso ng paggawa ng semiconductor, ang sistema ng paglilipat ng wafer ay gumaganap ng mahalagang papel sa pagdadala ng mga wafer sa iba't ibang yugto ng proseso ng paggawa. Ang katumpakan at katumpakan ang mga mahahalagang kinakailangan para sa mga sistemang ito dahil kahit ang kaunting paglihis ay maaaring maglagay sa panganib sa buong proseso. Samakatuwid, ang mga bahagi sa sistema ng paglilipat ng wafer ay dapat gawin mula sa mga de-kalidad na materyales, at ang granite ay nakakatugon sa mga pamantayang iyon.
Ang ilan sa mga bahagi ng sistema ng paglilipat ng wafer na gawa sa mga materyales na granite ay kinabibilangan ng:
1. Mesa ng Vacuum Chuck
Ang vacuum chuck table ay ginagamit para hawakan ang wafer habang ginagawa ang proseso, at dapat itong magkaroon ng matatag na ibabaw upang matiyak na hindi masisira ang wafer. Ang granite ay isang mainam na materyal para sa paggawa ng mesang ito dahil mayroon itong patag, hindi porous na ibabaw na nagbibigay ng mataas na katatagan at katumpakan. Bukod pa rito, ang granite ay may mababang coefficient of thermal expansion, kaya lumalaban ito sa mga pagbabago sa temperatura na maaaring magdulot ng mga pagbabago sa dimensyon sa wafer.
2. Yugto ng Pagdadala ng Hangin
Ang yugtong may dalang hangin ay ginagamit upang ilipat ang wafer sa iba't ibang yugto ng proseso ng pagmamanupaktura. Ang yugto ay dinisenyo upang magbigay ng walang alitan na paggalaw, na nangangailangan ng mataas na katumpakan at katatagan. Ginagamit ang granite sa aplikasyon na ito dahil ito ay isang matibay at matigas na bato, at lumalaban ito sa deformasyon at pagkasira sa paglipas ng panahon.
3. Mga Gabay sa Linya ng Paggalaw
Ang mga linear motion guide ay ginagamit upang gabayan ang air-bearing stage, at dapat itong tumpak na nakaposisyon upang mabawasan ang mga error. Ginagamit ang granite sa paggawa ng gabay na ito dahil mayroon itong mahusay na mekanikal na katatagan at lakas. Ang materyal ay lumalaban din sa kalawang, na nagsisiguro ng mahabang buhay ng sistema ng gabay.
4. Kagamitan sa Metrolohiya
Ginagamit ang kagamitang metrolohiya upang sukatin ang mga sukat at katangian ng wafer sa proseso ng paggawa. Ang granite ay isang mainam na materyal para sa paggawa ng kagamitang ito dahil mayroon itong mataas na stiffness, mababang expansion, at kaunting deformation sa ilalim ng load. Bukod dito, tinitiyak ng thermal stability ng granite na ang kagamitang metrolohiya ay nananatiling matatag at tumpak sa paglipas ng panahon.
Bilang konklusyon, ang industriya ng semiconductor ay umaasa sa katumpakan at katumpakan, at ang mga materyales na granite ay napatunayang lubos na maaasahan at matatag sa proseso ng pagmamanupaktura. Dahil sa maraming mahahalagang bahagi sa sistema ng paglilipat ng wafer na nangangailangan ng mataas na katatagan, katumpakan, at mababang thermal expansion, ang mga inhinyero ay bumaling sa mga materyales na granite upang matugunan ang mga kritikal na kinakailangang ito.
Oras ng pag-post: Mar-19-2024