Ang mga materyales na granite ay malawakang ginagamit sa industriya ng semiconductor dahil sa kanilang mahusay na mga katangian, tulad ng mataas na katatagan, mababang thermal expansion, at mataas na pagtutol sa kaagnasan.Ginagawa ng mga katangiang ito ang granite na isang perpektong materyal para sa pagbuo ng mga bahagi na may mataas na katumpakan sa isang sistema ng paglipat ng wafer.
Sa proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor, gumaganap ng kritikal na papel ang wafer transfer system sa pagdadala ng mga wafer sa iba't ibang yugto ng proseso ng pagmamanupaktura.Ang katumpakan at katumpakan ay ang mga mahahalagang kinakailangan para sa mga system na ito dahil kahit na ang bahagyang paglihis ay maaaring mapahamak ang buong proseso.Samakatuwid, ang mga bahagi sa sistema ng paglipat ng wafer ay dapat gawin mula sa mga de-kalidad na materyales, at ang granite ay nakakatugon sa mga pamantayang iyon.
Ang ilang bahagi ng sistema ng paglipat ng wafer na ginawa mula sa mga materyales na granite ay kinabibilangan ng:
1. Vacuum Chuck Table
Ang vacuum chuck table ay ginagamit para sa paghawak ng wafer sa panahon ng proseso, at dapat itong may matatag na ibabaw upang matiyak na ang wafer ay hindi nasira.Ang granite ay isang mainam na materyal para sa paggawa ng mesa na ito dahil mayroon itong flat, non-porous surface na nagbibigay ng mataas na katatagan at katumpakan.Bukod pa rito, ang granite ay may mababang koepisyent ng thermal expansion, na ginagawa itong lumalaban sa mga pagbabago sa temperatura na maaaring magdulot ng mga pagbabago sa dimensional sa wafer.
2. Air-Bearing Stage
Ang air-bearing stage ay ginagamit upang dalhin ang wafer sa iba't ibang yugto ng proseso ng pagmamanupaktura.Ang entablado ay ininhinyero upang magbigay ng walang alitan na paggalaw, na nangangailangan ng mataas na katumpakan at katatagan.Granite ay ginagamit sa application na ito dahil ito ay isang matibay at matigas na bato, at ito resists pagpapapangit at pagkasira sa paglipas ng panahon.
3. Mga Gabay sa Linear Motion
Ang mga linear motion guide ay ginagamit para gabayan ang air-bearing stage, at dapat na tumpak ang pagkakaposisyon ng mga ito para mabawasan ang mga error.Granite ay ginagamit upang bumuo ng gabay na ito dahil ito ay may mahusay na mekanikal katatagan at lakas.Ang materyal ay lumalaban din sa kaagnasan, na nagsisiguro sa mahabang buhay ng sistema ng gabay.
4. Kagamitan sa Metrology
Ang kagamitan sa metrology ay ginagamit upang sukatin ang mga sukat at katangian ng wafer sa panahon ng proseso ng pagmamanupaktura.Ang granite ay isang mainam na materyal para sa pagtatayo ng kagamitang ito dahil mayroon itong mataas na higpit, mababang pagpapalawak, at kaunting pagpapapangit sa ilalim ng pagkarga.Bukod dito, tinitiyak ng thermal stability ng granite na ang kagamitan sa metrology ay nananatiling matatag at tumpak sa paglipas ng panahon.
Sa konklusyon, ang industriya ng semiconductor ay umaasa sa katumpakan at katumpakan, at ang mga granite na materyales ay napatunayang lubos na maaasahan at matatag sa proseso ng pagmamanupaktura.Sa maraming kritikal na bahagi sa wafer transfer system na nangangailangan ng mataas na katatagan, katumpakan, at mababang thermal expansion, ang mga inhinyero ay bumaling sa mga granite na materyales upang matugunan ang mga kritikal na pangangailangang ito.
Oras ng post: Mar-19-2024