Ang mga materyales ng Granite ay malawakang ginagamit sa industriya ng semiconductor dahil sa kanilang mahusay na mga katangian, tulad ng mataas na katatagan, mababang pagpapalawak ng thermal, at mataas na pagtutol sa kaagnasan. Ang mga pag-aari na ito ay gumagawa ng granite na isang mainam na materyal para sa pagbuo ng mga sangkap na may mataas na katumpakan sa isang sistema ng paglilipat ng wafer.
Sa proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor, ang sistema ng paglilipat ng wafer ay gumaganap ng isang kritikal na papel sa pagdadala ng mga wafer sa iba't ibang yugto ng proseso ng pagmamanupaktura. Ang katumpakan at kawastuhan ay ang mga mahahalagang kinakailangan para sa mga sistemang ito dahil kahit na ang kaunting mga paglihis ay maaaring mapanganib ang buong proseso. Samakatuwid, ang mga sangkap sa sistema ng paglilipat ng wafer ay dapat gawin mula sa mga de-kalidad na materyales, at ang granite ay nakakatugon sa mga pamantayang iyon.
Ang ilang mga bahagi ng sistema ng paglilipat ng wafer na ginawa mula sa mga materyales na granite ay kinabibilangan ng:
1. Vacuum Chuck Table
Ang talahanayan ng vacuum chuck ay ginagamit para sa paghawak ng wafer sa panahon ng proseso, at dapat itong magkaroon ng isang matatag na ibabaw upang matiyak na hindi nasira ang wafer. Ang Granite ay isang mainam na materyal para sa paggawa ng talahanayan na ito sapagkat mayroon itong isang patag, hindi porous na ibabaw na nagbibigay ng mataas na katatagan at katumpakan. Bilang karagdagan, ang granite ay may mababang koepisyent ng pagpapalawak ng thermal, na ginagawa itong lumalaban sa mga pagbabago sa temperatura na maaaring maging sanhi ng mga dimensional na pagbabago sa wafer.
2. Yugto ng air-bearing
Ang yugto ng air-bearing ay ginagamit upang maihatid ang wafer sa pamamagitan ng iba't ibang yugto ng proseso ng pagmamanupaktura. Ang yugto ay inhinyero upang magbigay ng isang kilusang walang friction, na nangangailangan ng mataas na katumpakan at katatagan. Ginagamit ang Granite sa application na ito sapagkat ito ay isang mahigpit at matigas na bato, at ito ay lumalaban sa pagpapapangit at pagsusuot sa paglipas ng panahon.
3. Mga gabay sa paggalaw ng linear
Ang mga gabay na gabay sa paggalaw ay ginagamit upang gabayan ang yugto ng air-bearing, at dapat silang tumpak na nakaposisyon upang mabawasan ang mga pagkakamali. Ginagamit ang Granite upang mabuo ang gabay na ito sapagkat mayroon itong mahusay na mekanikal na katatagan at lakas. Ang materyal ay lumalaban din sa kaagnasan, na nagsisiguro sa kahabaan ng sistema ng gabay.
4. Kagamitan sa Metrology
Ang mga kagamitan sa metrolohiya ay ginagamit upang masukat ang mga sukat at katangian ng wafer sa panahon ng proseso ng pagmamanupaktura. Ang Granite ay isang mainam na materyal para sa pagbuo ng kagamitan na ito sapagkat mayroon itong mataas na higpit, mababang pagpapalawak, at kaunting pagpapapangit sa ilalim ng pag -load. Bukod dito, tinitiyak ng thermal katatagan ng Granite na ang kagamitan sa metrolohiya ay nananatiling matatag at tumpak sa paglipas ng panahon.
Sa konklusyon, ang industriya ng semiconductor ay nakasalalay sa katumpakan at kawastuhan, at ang mga materyales na granite ay napatunayan na lubos na maaasahan at matatag sa proseso ng pagmamanupaktura. Sa maraming mga kritikal na sangkap sa sistema ng paglilipat ng wafer na nangangailangan ng mataas na katatagan, katumpakan, at mababang pagpapalawak ng thermal, ang mga inhinyero ay bumaling sa mga materyales na granite upang matugunan ang mga kritikal na kinakailangan na ito.
Oras ng Mag-post: Mar-19-2024