Ang granite bed ay isang mahalagang bahagi sa iba't ibang mga aparatong semiconductor.Bilang isang lubos na matatag at matibay na materyal, ang granite ay malawakang ginagamit bilang batayan para sa kagamitan sa pagproseso ng semiconductor.Ito ay nailalarawan sa pamamagitan ng mababang koepisyent ng pagpapalawak ng thermal, mataas na dimensional na katatagan, at mahusay na mga katangian ng mekanikal.Dahil sa mga katangiang ito, karaniwang ginagamit ang granite bed sa tatlong magkakaibang uri ng mga semiconductor device - kagamitan sa metrology, kagamitan sa lithography, at kagamitan sa inspeksyon.
Ginagamit ang kagamitan sa metrology upang sukatin at makita ang mga kritikal na sukat ng mga aparatong semiconductor.Ito ay gumaganap ng isang mahalagang papel sa pagpapanatili ng kalidad at pagkakapare-pareho ng proseso ng paggawa ng semiconductor.Kasama sa kagamitan ng metrology ang mga instrumento gaya ng optical microscope, electron microscope, at atomic force microscopes (AFMs).Dahil ang pagganap ng mga instrumentong ito sa pagsukat ay nakasalalay sa kanilang katatagan, katumpakan, at paglaban sa panginginig ng boses, ang granite ay ang perpektong pagpipilian para sa kanilang materyal sa kama.Ang pagkakapareho at katatagan ng granite bed ay nagbibigay ng isang matatag na plataporma para sa mga instrumento, na nagpapahusay sa kanilang katumpakan at pagiging maaasahan.
Ang kagamitan sa litograpiya ay ginagamit upang gawin ang mga pattern ng microchip sa wafer.Ang proseso ng lithography ay nangangailangan ng mataas na antas ng katumpakan at katumpakan upang lumikha ng mga kumplikadong circuit at mapabuti ang pagganap ng chip.Kasama sa kagamitan ng lithography ang mga stepper at scanner system na gumagamit ng liwanag upang maglipat ng mga larawan papunta sa wafer.Dahil ang proseso ng lithography ay napaka-sensitibo sa vibration at thermal changes, ang isang mataas na kalidad na kama ay mahalaga upang matiyak ang katatagan at repeatability ng proseso ng litography.Ang mga granite na kama ay nagbibigay ng kinakailangang stability at mahigpit na vibration damping performance para sa mga lithography system.Ang granite bed ay nagbibigay-daan sa stepper o scanner system na mapanatili ang tumpak na mga spatial na relasyon na tinitiyak ang mataas na katumpakan at panghuling kalidad ng produkto.
Ang kagamitan sa inspeksyon ay ginagamit upang makita ang anumang mga depekto sa mga aparatong semiconductor.Kasama sa mga kagamitan sa inspeksyon ang mga system tulad ng mga laser scanning microscope, electron microscope, at optical microscope.Dahil sa pangangailangan para sa mga device na ito na maging lubos na tumpak, matatag at lumalaban sa vibration, ang mga granite na kama ay ang perpektong materyal.Ang mga mekanikal na katangian ng Granite at dimensional na katatagan ay nakakatulong sa paghihiwalay ng vibration, na nagpapahusay sa katumpakan ng output ng kagamitan sa inspeksyon.
Sa konklusyon, ang granite bed ay mahalaga sa industriya ng semiconductor at malawakang ginagamit sa iba't ibang uri ng kagamitan.Ang mga natatanging katangian nito tulad ng dimensional na katatagan, mababang thermal expansion coefficient, at mahusay na mekanikal na katatagan ay ginagawang ang granite ang perpektong pagpipilian para sa materyal ng kama ng mga kagamitang semiconductor.Dahil ang mataas na kalidad na granite bed ay nagbibigay ng kinakailangang katatagan, katumpakan, at vibration resistance sa semiconductor equipment, sa huli ay pinapabuti nito ang kalidad ng huling produkto.Samakatuwid, ang paggamit ng granite bed sa semiconductor equipment ay siguradong magpapatuloy sa mga darating na taon.
Oras ng post: Abr-03-2024