Sa tiyak na kadena ng pagmamanupaktura ng semiconductor, ang sistema ng paglilipat ng wafer ay parang "lifeline ng linya ng produksyon ng chip", at ang katatagan at katumpakan nito ay direktang tumutukoy sa rate ng ani ng mga chip. Ang bagong henerasyon ng mga sistema ng paglilipat ng wafer ay rebolusyonaryong pinagsasama ang mga linear motor na may mga base ng granite, at ang mga natatanging bentahe ng mga materyales na granite ang siyang pangunahing code upang mabuksan ang high-performance na transmission.
ang
Base ng Granite: Pagbuo ng "matibay na pundasyon" para sa matatag na transmisyon
Ang granite, na sumailalim sa daan-daang milyong taon ng heolohikal na pagpipino, ay nagtatampok ng siksik at pare-parehong panloob na kristalisasyon ng mineral. Ang natural na katangiang ito ang dahilan kung bakit ito ay isang mainam na base material para sa mga wafer transfer system. Sa masalimuot na kapaligiran ng mga semiconductor cleanroom, ang granite, na may napakababang coefficient ng thermal expansion (5-7 ×10⁻⁶/℃ lamang), ay kayang labanan ang init na nalilikha habang ginagamit ang kagamitan at ang impluwensya ng mga pagbabago sa temperatura sa kapaligiran, tinitiyak ang katatagan ng laki ng base at iniiwasan ang paglihis ng transmission path na dulot ng thermal deformation. Ang natatanging vibration damping performance nito ay mabilis na kayang sumipsip ng mga mechanical vibrations na nalilikha habang nagsisimula, nagsasara, at nagpapabilis ng mga linear motor, pati na rin ang mga panlabas na interference na dulot ng pagpapatakbo ng iba pang kagamitan sa workshop, na nagbibigay ng matatag na plataporma na may "zero shake" para sa wafer transmission.
Samantala, tinitiyak ng kemikal na katatagan ng granite na hindi ito kinakalawang o kinakalawang sa mga semiconductor workshop kung saan ang mga acid at alkali reagents ay pabagu-bago at kinakailangan ang mataas na kalinisan, kaya naiiwasan ang epekto sa katumpakan ng transmisyon dahil sa pagtanda ng materyal o adsorption ng pollutant. Ang makinis at siksik na katangian ng ibabaw ay mas epektibong makakabawas sa pagdikit ng alikabok, na nakakatugon sa mahigpit na pamantayan ng walang alikabok sa malilinis na silid at inaalis ang panganib ng kontaminasyon ng wafer mula sa ugat.
Ang epekto ng "ginintuang pakikipagsosyo" ng mga linear motor at granite
Ang mga linear motor, na may mga katangiang walang mekanikal na transmisyon clearance, mataas na acceleration at mataas na bilis ng pagtugon, ay nagbibigay sa wafer transmission ng mga bentahe ng "mabilis, tumpak at matatag". Ang granite base ay nagbibigay ng matibay at maaasahang plataporma ng suporta para dito. Ang dalawa ay nagtutulungan upang makamit ang isang malaking pag-unlad sa pagganap. Kapag pinapatakbo ng linear motor ang wafer carrier upang tumakbo sa granite base track, ang matibay na rigidity at stability ng base ay tinitiyak ang mahusay na transmission ng motor driving force, na iniiwasan ang force loss o transmission lag na dulot ng base deformation.
Dahil sa pangangailangan para sa nanoscale precision, ang mga linear motor ay nakakamit ng sub-micron-level displacement control. Ang mga high-precision processing characteristics ng mga granite base (na may mga flatness error na kinokontrol sa loob ng ±1μm) ay perpektong tumutugma sa tumpak na kontrol ng mga linear motor, na sama-samang tinitiyak na ang positioning error habang nagpapadala ng wafer ay mas mababa sa ±5μm. Ito man ay high-speed shuttling sa iba't ibang kagamitan sa proseso o tumpak na pag-park para sa wafer handover, ang kombinasyon ng mga linear motor at granite base ay maaaring matiyak ang "zero deviation at zero jitter" sa wafer transmission.
Pag-verify ng kasanayan sa industriya: Dalawahang pagpapabuti sa kahusayan at antas ng ani
Matapos i-upgrade ang sistema ng paglilipat ng wafer nito, isang nangungunang pandaigdigang negosyo ng semiconductor ang gumamit ng solusyon sa linear motor + granite base, na nagpataas sa kahusayan ng paglilipat ng wafer ng 40%, nagbawas sa antas ng paglitaw ng mga pagkakamali tulad ng banggaan at offset sa proseso ng paglilipat ng 85%, at nagpabuti sa pangkalahatang antas ng ani ng mga chips ng 6%. Sa likod ng datos ay nakasalalay ang garantiya ng katatagan ng transmisyon na ibinibigay ng granite base at ang high-speed at tumpak na synergy effect ng linear motor, na makabuluhang nagbabawas sa pagkawala at error sa proseso ng transmisyon ng wafer.
Mula sa mga katangian ng materyal hanggang sa katumpakan ng paggawa, mula sa mga bentahe ng pagganap hanggang sa praktikal na beripikasyon, ang kombinasyon ng mga linear motor at granite base ay muling nagbigay-kahulugan sa mga pamantayan ng mga wafer transfer system. Sa hinaharap, kapag ang teknolohiya ng semiconductor ay sumulong patungo sa mga prosesong 3nm at 2nm, ang mga materyales na granite ay tiyak na patuloy na magbibigay ng malakas na tulong sa pag-unlad ng industriya gamit ang kanilang mga hindi mapapalitang bentahe.
Oras ng pag-post: Mayo-14-2025