Sa larangan ng pagsusuri ng semiconductor, ang pagpili ng materyal ng plataporma ng pagsusuri ay gumaganap ng mahalagang papel sa katumpakan ng pagsusuri at katatagan ng kagamitan. Kung ikukumpara sa mga tradisyonal na materyales na cast iron, ang granite ay nagiging mainam na pagpipilian para sa mga plataporma ng pagsusuri ng semiconductor dahil sa natatanging pagganap nito.
Tinitiyak ng mahusay na resistensya sa kalawang ang pangmatagalang matatag na operasyon
Sa proseso ng pagsusuri ng semiconductor, kadalasang ginagamit ang iba't ibang kemikal na reagent, tulad ng potassium hydroxide (KOH) solution na ginagamit para sa pagbuo ng photoresist, at mga sangkap na lubhang nakakadumi tulad ng hydrofluoric acid (HF) at nitric acid (HNO₃) sa proseso ng pag-ukit. Ang cast iron ay pangunahing binubuo ng mga elementong bakal. Sa ganitong kemikal na kapaligiran, ang mga reaksyon ng oxidation-reduction ay malamang na mangyari. Ang mga atomo ng bakal ay nawawalan ng mga electron at sumasailalim sa mga reaksyon ng displacement kasama ang mga acidic na sangkap sa solusyon, na nagiging sanhi ng mabilis na kalawang ng ibabaw, na bumubuo ng kalawang at mga depresyon, at nakakasira sa pagiging patag at katumpakan ng dimensyon ng plataporma.
Sa kabaligtaran, ang komposisyon ng mineral ng granite ay nagbibigay dito ng pambihirang resistensya sa kalawang. Ang pangunahing bahagi nito, ang quartz (SiO₂), ay may napakatatag na mga katangiang kemikal at halos hindi tumutugon sa mga karaniwang asido at base. Ang mga mineral tulad ng feldspar ay hindi rin gumagalaw sa pangkalahatang mga kapaligirang kemikal. Ipinakita ng maraming eksperimento na sa parehong kunwaring kapaligirang kemikal para sa pagtukoy ng semiconductor, ang resistensya sa kalawang ng kemikal ng granite ay mahigit 15 beses na mas mataas kaysa sa cast iron. Nangangahulugan ito na ang paggamit ng mga plataporma ng granite ay maaaring makabuluhang bawasan ang dalas at gastos ng pagpapanatili ng kagamitan na dulot ng kalawang, pahabain ang buhay ng serbisyo ng kagamitan, at matiyak ang pangmatagalang katatagan ng katumpakan ng pagtuklas.
Napakataas na katatagan, na nakakatugon sa mga kinakailangan ng katumpakan ng pagtuklas sa antas ng nanometro
Ang pagsusuri sa semiconductor ay may napakataas na mga kinakailangan para sa katatagan ng plataporma at kailangang tumpak na masukat ang mga katangian ng chip sa nanoscale. Ang koepisyent ng thermal expansion ng cast iron ay medyo mataas, humigit-kumulang 10-12 ×10⁻⁶/℃. Ang init na nalilikha ng pagpapatakbo ng kagamitan sa pagtukoy o ang pagbabago-bago ng temperatura ng paligid ay magdudulot ng makabuluhang thermal expansion at pagliit ng plataporma ng cast iron, na magreresulta sa isang paglihis sa posisyon sa pagitan ng detection probe at ng chip at makakaapekto sa katumpakan ng pagsukat.
Ang koepisyent ng thermal expansion ng granite ay 0.6-5×10⁻⁶/℃ lamang, na isang bahagi o mas mababa pa kaysa sa cast iron. Ang istruktura nito ay siksik. Ang panloob na stress ay halos naalis na sa pamamagitan ng pangmatagalang natural na pagtanda at minimal na naapektuhan ng mga pagbabago sa temperatura. Bukod pa rito, ang granite ay may matibay na tigas, na may tigas na 2 hanggang 3 beses na mas mataas kaysa sa cast iron (katumbas ng HRC > 51), na epektibong nakakayanan ang mga panlabas na epekto at panginginig ng boses at nagpapanatili ng patag at tuwid na anyo ng plataporma. Halimbawa, sa high-precision chip circuit detection, ang granite platform ay maaaring kontrolin ang error sa patag sa loob ng ±0.5μm/m, na tinitiyak na ang kagamitan sa pagtukoy ay maaari pa ring makamit ang nanoscale precision detection sa mga kumplikadong kapaligiran.
Natatanging anti-magnetic na katangian, na lumilikha ng purong kapaligiran sa pagtuklas
Ang mga elektronikong bahagi at sensor sa mga kagamitan sa pagsubok ng semiconductor ay lubhang sensitibo sa electromagnetic interference. Ang cast iron ay may isang tiyak na antas ng magnetismo. Sa isang electromagnetic na kapaligiran, ito ay bubuo ng isang induced magnetic field, na makakasagabal sa mga electromagnetic signal ng kagamitan sa pag-detect, na magreresulta sa signal distortion at abnormal na data ng pag-detect.
Sa kabilang banda, ang granite ay isang materyal na antimagnetic at halos hindi napo-polarize ng mga panlabas na magnetic field. Ang mga panloob na electron ay umiiral nang pares-pares sa loob ng mga kemikal na bono, at ang istraktura ay matatag, hindi apektado ng mga panlabas na puwersang electromagnetic. Sa isang malakas na kapaligiran ng magnetic field na 10mT, ang intensity ng induced magnetic field sa ibabaw ng granite ay mas mababa sa 0.001mT, habang ang sa ibabaw ng cast iron ay kasingtaas ng higit sa 8mT. Ang tampok na ito ay nagbibigay-daan sa granite platform na lumikha ng isang purong electromagnetic na kapaligiran para sa kagamitan sa pag-detect, lalo na angkop para sa mga senaryo na may mahigpit na mga kinakailangan para sa electromagnetic noise tulad ng quantum chip detection at high-precision analog circuit detection, na epektibong nagpapahusay sa pagiging maaasahan at pagkakapare-pareho ng mga resulta ng pag-detect.
Sa paggawa ng mga plataporma para sa pagsusuri ng semiconductor, ang granite ay lubos na nalampasan ang mga materyales na cast iron dahil sa mga mahahalagang bentahe nito tulad ng resistensya sa kalawang, katatagan, at anti-magnetismo. Habang umuunlad ang teknolohiya ng semiconductor patungo sa mas mataas na katumpakan, ang granite ay gaganap ng isang lalong mahalagang papel sa pagtiyak ng pagganap ng mga kagamitan sa pagsusuri at pagtataguyod ng pag-unlad ng industriya ng semiconductor.
Oras ng pag-post: Mayo-15-2025