Sa larangan ng pagsubok ng semiconductor, ang pagpili ng materyal ng platform ng pagsubok ay gumaganap ng isang mapagpasyang papel sa katumpakan ng pagsubok at katatagan ng kagamitan. Kung ikukumpara sa mga tradisyunal na materyales na cast iron, ang granite ay nagiging perpektong pagpipilian para sa mga platform ng pagsubok ng semiconductor dahil sa mahusay na pagganap nito.
Tinitiyak ng natitirang paglaban sa kaagnasan ang pangmatagalang matatag na operasyon
Sa panahon ng proseso ng pagsubok ng semiconductor, ang iba't ibang chemical reagents ay madalas na kasangkot, tulad ng potassium hydroxide (KOH) solution na ginagamit para sa photoresist development, at mga highly corrosive substance tulad ng hydrofluoric acid (HF) at nitric acid (HNO₃) sa proseso ng etching. Ang cast iron ay pangunahing binubuo ng mga elementong bakal. Sa ganitong kemikal na kapaligiran, ang mga reaksyon ng pagbabawas ng oksihenasyon ay mataas ang posibilidad na mangyari. Ang mga atomo ng bakal ay nawawalan ng mga electron at sumasailalim sa mga reaksyon ng displacement na may mga acidic na sangkap sa solusyon, na nagiging sanhi ng mabilis na kaagnasan ng ibabaw, na bumubuo ng kalawang at mga depresyon, at nakakasira sa flatness at dimensional na katumpakan ng platform.
Sa kaibahan, ang mineral na komposisyon ng granite ay nagbibigay dito ng hindi pangkaraniwang paglaban sa kaagnasan. Ang pangunahing bahagi nito, ang quartz (SiO₂), ay may lubos na matatag na mga katangian ng kemikal at halos hindi tumutugon sa mga karaniwang acid at base. Ang mga mineral tulad ng feldspar ay hindi rin gumagalaw sa mga pangkalahatang kemikal na kapaligiran. Ang isang malaking bilang ng mga eksperimento ay nagpakita na sa parehong kunwa semiconductor detection chemical environment, ang chemical corrosion resistance ng granite ay higit sa 15 beses na mas mataas kaysa sa cast iron. Nangangahulugan ito na ang paggamit ng mga granite platform ay maaaring makabuluhang bawasan ang dalas at gastos ng pagpapanatili ng kagamitan na dulot ng kaagnasan, pahabain ang buhay ng serbisyo ng kagamitan, at matiyak ang pangmatagalang katatagan ng katumpakan ng pagtuklas.
Napakataas na katatagan, nakakatugon sa mga kinakailangan ng katumpakan ng pagtuklas sa antas ng nanometer
Ang pagsubok ng semiconductor ay may napakataas na kinakailangan para sa katatagan ng platform at kailangang tumpak na sukatin ang mga katangian ng chip sa nanoscale. Ang koepisyent ng thermal expansion ng cast iron ay medyo mataas, humigit-kumulang 10-12 ×10⁻⁶/℃. Ang init na nabuo sa pamamagitan ng pagpapatakbo ng kagamitan sa pag-detect o ang pagbabagu-bago ng temperatura sa paligid ay magdudulot ng makabuluhang thermal expansion at contraction ng cast iron platform, na magreresulta sa isang positional deviation sa pagitan ng detection probe at chip at makakaapekto sa katumpakan ng pagsukat.
Ang koepisyent ng thermal expansion ng granite ay 0.6-5×10⁻⁶/℃ lamang, na isang fraction o mas mababa pa sa cast iron. Ang istraktura nito ay siksik. Ang panloob na stress ay karaniwang inalis sa pamamagitan ng pangmatagalang natural na pagtanda at hindi gaanong apektado ng mga pagbabago sa temperatura. Bilang karagdagan, ang granite ay may malakas na tigas, na may tigas na 2 hanggang 3 beses na mas mataas kaysa sa cast iron (katumbas ng HRC > 51), na maaaring epektibong labanan ang mga panlabas na epekto at vibrations at mapanatili ang flatness at straightness ng platform. Halimbawa, sa high-precision chip circuit detection, makokontrol ng granite platform ang flatness error sa loob ng ±0.5μm/m, tinitiyak na makakamit pa rin ng detection equipment ang nanoscale precision detection sa mga kumplikadong kapaligiran.
Natitirang anti-magnetic na ari-arian, na lumilikha ng isang purong kapaligiran sa pagtuklas
Ang mga elektronikong sangkap at sensor sa mga kagamitan sa pagsubok ng semiconductor ay lubhang sensitibo sa electromagnetic interference. Ang cast iron ay may isang tiyak na antas ng magnetism. Sa isang electromagnetic na kapaligiran, bubuo ito ng isang sapilitan na magnetic field, na makakasagabal sa mga electromagnetic signal ng kagamitan sa pagtuklas, na magreresulta sa pagbaluktot ng signal at abnormal na data ng pagtuklas.
Ang Granite, sa kabilang banda, ay isang antimagnetic na materyal at halos hindi napolarize ng mga panlabas na magnetic field. Ang mga panloob na electron ay umiiral sa mga pares sa loob ng mga bono ng kemikal, at ang istraktura ay matatag, hindi apektado ng mga panlabas na puwersa ng electromagnetic. Sa isang malakas na kapaligiran ng magnetic field na 10mT, ang induced magnetic field intensity sa ibabaw ng granite ay mas mababa sa 0.001mT, habang ang nasa ibabaw ng cast iron ay kasing taas ng higit sa 8mT. Ang feature na ito ay nagbibigay-daan sa granite platform na lumikha ng purong electromagnetic na kapaligiran para sa detection equipment, lalo na angkop para sa mga senaryo na may mahigpit na pangangailangan para sa electromagnetic noise tulad ng quantum chip detection at high-precision analog circuit detection, na epektibong nagpapahusay sa pagiging maaasahan at pagkakapare-pareho ng mga resulta ng pagtuklas.
Sa pagtatayo ng mga semiconductor testing platform, ang granite ay komprehensibong nalampasan ang mga materyales na cast iron dahil sa mga makabuluhang pakinabang nito tulad ng corrosion resistance, stability at anti-magnetism. Habang umuunlad ang teknolohiya ng semiconductor tungo sa mas mataas na katumpakan, ang granite ay gaganap ng lalong mahalagang papel sa pagtiyak sa pagganap ng mga kagamitan sa pagsubok at pagtataguyod ng pag-unlad ng industriya ng semiconductor.
Oras ng post: Mayo-15-2025