Ang granite ay isang natural na bato na matagal nang ginagamit sa mga kagamitan sa pagproseso ng wafer. Kilala ito sa mahusay na mga katangian nito tulad ng mababang thermal expansion, mataas na rigidity, at mahusay na stability. Gayunpaman, tulad ng lahat ng materyales, ang granite ay may sariling hanay ng mga depekto na maaaring makaapekto sa kalidad ng kagamitan sa pagproseso ng wafer.
Isa sa mga pangunahing depekto ng granite ay ang tendensiya nitong magbitak o mabasag. Ito ay dahil sa pagkakaroon ng mga microcrack na maaaring mangyari habang nabubuo ang bato. Kung ang mga microcrack na ito ay hindi matutukoy at magamot nang maayos, maaari itong kumalat at humantong sa pagkasira ng kagamitan. Upang maiwasan ito, ang mga tagagawa ng kagamitan sa pagproseso ay kailangang gumamit ng mataas na kalidad na granite na nagamot at nasubukan upang matiyak na ito ay walang mga microcrack.
Isa pang depekto ng granite ay ang pagiging madaling kapitan ng kalawang. Kung ang kagamitang granite ay madikit sa mga kinakaing kapaligiran, maaari itong magsimulang masira sa paglipas ng panahon. Maaari itong humantong sa pagkasira ng kagamitan o hindi paggana nang maayos. Upang maiwasan ito, dapat tiyakin ng mga tagagawa na ang granite na ginagamit sa kanilang kagamitan ay maayos na ginagamot at pinahiran upang maiwasan ang anumang kalawang.
Ang granite ay madaling kapitan ng pagbaluktot sa paglipas ng panahon dahil sa likas nitong mga katangiang thermal. Ito ay dahil ang granite ay may napakababang coefficient ng thermal expansion, ibig sabihin ay hindi ito gaanong lumalawak o lumiliit kapag napapailalim sa mga pagbabago sa temperatura. Gayunpaman, kahit ang kaunting paglawak o pagliit ay maaaring magdulot ng pagbaluktot sa kagamitan sa paglipas ng panahon. Mahalagang isaalang-alang ng tagagawa ng kagamitan ang mga katangiang thermal ng granite kapag nagdidisenyo ng kanilang kagamitan upang maiwasan ang pagkakaroon ng depektong ito.
Panghuli, ang porous na katangian ng granite ay maaaring humantong sa mga isyu sa kontaminasyon. Kung ang granite ay hindi maayos na natatakpan, maaari nitong sipsipin ang mga kontaminante na maaaring makaapekto sa kalidad ng wafer. Maaari itong humantong sa magastos na downtime at pagkawala ng produksyon. Upang maiwasan ito, kailangang maayos na isara ng mga tagagawa ang granite upang maiwasan ang pagsipsip ng anumang kontaminante.
Bilang konklusyon, ang granite ay isang mahusay na materyal para gamitin sa mga kagamitan sa pagproseso ng wafer. Gayunpaman, mahalagang malaman ang mga depekto nito at gawin ang mga kinakailangang pag-iingat upang maiwasan ang mga ito. Sa pamamagitan ng wastong pangangalaga at pagpapanatili, ang kagamitan ng granite ay maaaring patuloy na gumana sa loob ng maraming taon, na nagbibigay ng mataas na kalidad na mga wafer para sa industriya ng semiconductor.
Oras ng pag-post: Disyembre 27, 2023
