ang
Sa larangan ng pagmamanupaktura ng semiconductor, ang katumpakan ng kagamitan sa inspeksyon ng wafer ay direktang tumutukoy sa kalidad at ani ng mga chips. Bilang pundasyon na sumusuporta sa mga pangunahing bahagi ng pagtuklas, ang dimensional na katatagan ng materyal na base ng kagamitan ay gumaganap ng isang mahalagang papel sa pangmatagalang pagganap ng pagpapatakbo ng kagamitan. Ang granite at cast iron ay dalawang karaniwang ginagamit na base material para sa wafer inspection equipment. Ang isang 10-taong paghahambing na pag-aaral ay nagsiwalat ng mga makabuluhang pagkakaiba sa pagitan ng mga ito sa mga tuntunin ng dimensional na katatagan, na nagbibigay ng mahahalagang sanggunian para sa pagpili ng kagamitan. ang
Pang-eksperimentong Background at Disenyo
Ang proseso ng paggawa ng mga semiconductor wafer ay may napakataas na kinakailangan para sa katumpakan ng pagtuklas. Kahit na ang isang micrometer-level na dimensional deviation ay maaaring humantong sa pagbaba sa pagganap ng chip o kahit na pag-scrap. Upang tuklasin ang dimensional na katatagan ng granite at cast iron sa panahon ng pangmatagalang paggamit, ang research team ay nagdisenyo ng mga eksperimento na nag-simulate ng mga totoong working environment. Ang mga sample ng granite at cast iron na may parehong detalye ay pinili at inilagay sa isang environmental chamber kung saan ang temperatura ay nagbabago mula 15 ℃ hanggang 35 ℃ at ang halumigmig ay nag-iiba mula 30% hanggang 70% RH. Ang mekanikal na panginginig ng boses sa panahon ng pagpapatakbo ng kagamitan ay ginaya sa pamamagitan ng isang vibration table. Ang mga pangunahing sukat ng mga sample ay sinusukat bawat quarter gamit ang isang high-precision laser interferometer, at ang data ay patuloy na naitala sa loob ng 10 taon. ang
Eksperimental na resulta: Ang ganap na bentahe ng granite
Sampung taon ng pang-eksperimentong data ay nagpapakita na ang granite substrate ay nagpapakita ng kahanga-hangang katatagan. Ang koepisyent ng thermal expansion nito ay napakababa, na may average lamang na 4.6×10⁻⁶/℃. Sa ilalim ng matinding pagbabago sa temperatura, palaging kinokontrol ang dimensional deviation sa loob ng ±0.001mm. Sa harap ng mga pagbabago sa halumigmig, ang siksik na istraktura ng granite ay ginagawa itong halos hindi maaapektuhan, at walang masusukat na mga pagbabago sa sukat na nagaganap. Sa isang mekanikal na kapaligiran ng vibration, ang mahusay na mga katangian ng pamamasa ng granite ay epektibong sumisipsip ng enerhiya ng panginginig ng boses, at ang dimensional na pagbabagu-bago ay napakaliit. ang
Sa kaibahan, para sa cast iron substrate, ang average na koepisyent ng thermal expansion nito ay umaabot sa 11×10⁻⁶/℃ - 13×10⁻⁶/℃, at ang maximum na dimensional deviation na dulot ng mga pagbabago sa temperatura sa loob ng 10 taon ay ±0.05mm. Sa isang mahalumigmig na kapaligiran, ang cast iron ay madaling kapitan ng kalawang at kaagnasan. Ang ilang mga sample ay nagpapakita ng lokal na pagpapapangit, at ang dimensional na paglihis ay lalong tumataas. Sa ilalim ng pagkilos ng mekanikal na panginginig ng boses, ang cast iron ay may mahinang vibration damping performance at ang laki nito ay madalas na nagbabago, na nagpapahirap na matugunan ang mga kinakailangan sa mataas na katumpakan ng inspeksyon ng wafer. ang
Ang mahalagang dahilan para sa pagkakaiba sa katatagan
Ang Granite ay nabuo sa daan-daang milyong taon sa pamamagitan ng mga prosesong geological. Ang panloob na istraktura nito ay siksik at pare-pareho, at ang mga mineral na kristal ay matatag na nakaayos, na nag-aalis ng panloob na stress sa pamamagitan ng likas na katangian. Ginagawa nitong lubhang hindi sensitibo sa mga pagbabago sa mga panlabas na salik tulad ng temperatura, halumigmig at panginginig ng boses. Ang cast iron ay ginawa sa pamamagitan ng proseso ng paghahagis at may mga microscopic na depekto tulad ng mga butas at buhangin sa loob. Samantala, ang natitirang stress na nabuo sa panahon ng proseso ng paghahagis ay madaling magdulot ng mga pagbabago sa dimensional sa ilalim ng pagpapasigla ng panlabas na kapaligiran. Ang mga katangian ng metal ng cast iron ay ginagawa itong madaling kalawangin dahil sa halumigmig, nagpapabilis ng pinsala sa istruktura at nagpapababa ng dimensional na katatagan. ang
Ang epekto sa wafer inspection equipment
Ang kagamitan sa pag-inspeksyon ng wafer batay sa granite na substrate, na may matatag na dimensional na pagganap, ay maaaring matiyak na ang sistema ng inspeksyon ay nagpapanatili ng mataas na katumpakan sa mahabang panahon, bawasan ang maling paghuhusga at hindi nakuhang pagtuklas na dulot ng pag-anod ng katumpakan ng kagamitan, at makabuluhang mapabuti ang ani ng produkto. Samantala, ang mababang mga kinakailangan sa pagpapanatili ay binabawasan ang buong gastos sa siklo ng buhay ng kagamitan. Ang mga kagamitan na gumagamit ng mga substrate ng cast iron, dahil sa mahinang dimensional na katatagan, ay nangangailangan ng madalas na pagkakalibrate at pagpapanatili. Hindi lamang nito pinapataas ang mga gastos sa pagpapatakbo ngunit maaari ring makaapekto sa kalidad ng produksyon ng semiconductor dahil sa hindi sapat na katumpakan, na nagdudulot ng mga potensyal na pagkalugi sa ekonomiya. ang
Sa ilalim ng takbo ng industriya ng semiconductor na hangarin ang mas mataas na katumpakan at mas mahusay na kalidad, ang pagpili ng granite bilang batayang materyal para sa kagamitan sa pag-inspeksyon ng wafer ay walang alinlangan na isang matalinong hakbang upang matiyak ang pagganap ng kagamitan at mapahusay ang pagiging mapagkumpitensya ng mga negosyo. ang
Oras ng post: Mayo-14-2025