Ang Granite ay isang karaniwang ginagamit na materyal sa industriya ng semiconductor para sa mahusay na mekanikal na katangian, thermal stability, at mababang koepisyent ng thermal expansion.Gayunpaman, sa patuloy na pagtaas ng pangangailangan para sa mas mataas na katumpakan at produktibidad, ang mga alternatibong materyales ay lumitaw bilang mga mapagpipiliang opsyon para sa paggawa ng mga bahagi ng kagamitang semiconductor.Sa artikulong ito, tutuklasin natin ang ilan sa mga alternatibong materyales para sa mga bahagi ng granite sa mga kagamitang semiconductor at ihambing ang kanilang mga pakinabang at disadvantages.
Mga Alternatibong Materyal para sa Mga Bahagi ng Granite
1. Glass-ceramic na materyales
Ang mga glass-ceramic na materyales, tulad ng Zerodur at Cervit, ay nakakuha ng malawakang paggamit sa industriya ng semiconductor dahil sa kanilang mababang thermal expansion coefficient, na malapit sa silicon.Dahil dito, ang mga materyales na ito ay maaaring magbigay ng mas mahusay na thermal stability at pinahusay na katumpakan sa proseso ng paggawa ng semiconductor.Ang Zerodur, sa partikular, ay may mataas na antas ng homogeneity at katatagan, na ginagawa itong angkop para sa pagmamanupaktura ng kagamitan sa lithography.
Mga kalamangan:
- Mababang koepisyent ng thermal expansion
- Mataas na katumpakan at katatagan
- Angkop para sa mga application na may mataas na temperatura
Mga disadvantages:
- Mas mataas na gastos kumpara sa granite
- Medyo malutong, maaaring magdulot ng mga hamon sa machining at paghawak
2. Mga keramika
Ang mga ceramic na materyales, tulad ng aluminum oxide (Al2O3), silicon carbide (SiC), at silicon nitride (Si3N4), ay may mahusay na mekanikal na katangian, mataas na temperatura na resistensya, at mababang thermal expansion coefficient.Ang mga katangiang ito ay gumagawa ng mga ceramics na perpekto para sa mga bahagi ng kagamitan sa semiconductor na nangangailangan ng mataas na thermal stability at precision, tulad ng mga wafer stage at chuck.
Mga kalamangan:
- Mataas na thermal katatagan at lakas
- Mababang koepisyent ng pagpapalawak ng thermal
- Mataas na wear resistance at chemical inertness
Mga disadvantages:
- Maaaring malutong at madaling mag-crack, lalo na sa panahon ng machining at paghawak
- Ang pagma-machine at pag-polish ng mga ceramics ay maaaring maging mahirap at matagal
3. Mga metal
Ang mga materyales na nakabatay sa metal, tulad ng hindi kinakalawang na asero at titanium, ay ginamit para sa ilang bahagi ng kagamitan sa semiconductor dahil sa kanilang mahusay na machinability at mataas na lakas.Karaniwang ginagamit ang mga ito sa mga application kung saan hindi kinakailangan ang mataas na thermal stability, tulad ng mga bahagi ng chamber, coupling, at feedthrough.
Mga kalamangan:
- Magandang machinability at weldability
- Mataas na lakas at kalagkit
- Mababang gastos kumpara sa ilan sa mga alternatibong materyales
Mga disadvantages:
- Mataas na thermal expansion coefficient
- Hindi angkop para sa mga application na may mataas na temperatura dahil sa mga isyu sa pagpapalawak ng thermal
- Madaling kapitan ng kaagnasan at kontaminasyon
Konklusyon:
Sa buod, habang ang granite ay naging isang popular na pagpipilian para sa mga bahagi ng kagamitan sa semiconductor, ang mga alternatibong materyales ay lumitaw, bawat isa ay may natatanging mga pakinabang at disadvantages.Ang mga glass-ceramic na materyales ay lubos na tumpak at matatag ngunit maaaring malutong.Ang mga keramika ay malakas at may mahusay na thermal stability ngunit maaari ding maging malutong, na ginagawang mas mahirap gawin ang mga ito.Ang mga metal ay mura, machinable, at ductile, ngunit mayroon silang mas mataas na koepisyent ng thermal expansion at madaling kapitan ng kaagnasan at kontaminasyon.Kapag pumipili ng mga materyales para sa kagamitang semiconductor, mahalagang isaalang-alang ang mga partikular na pangangailangan ng aplikasyon at pumili ng mga materyales na nagbabalanse sa gastos, pagganap, at pagiging maaasahan.
Oras ng post: Mar-19-2024