Ang Granite ay isang karaniwang ginagamit na materyal sa industriya ng semiconductor para sa mahusay na mga mekanikal na katangian, thermal stabil, at mababang koepisyent ng thermal expansion. Gayunpaman, sa patuloy na pagtaas ng demand para sa mas mataas na katumpakan at pagiging produktibo, ang mga alternatibong materyales ay lumitaw bilang mabubuhay na mga pagpipilian para sa katha ng mga sangkap na kagamitan sa semiconductor. Sa artikulong ito, galugarin namin ang ilan sa mga alternatibong materyales para sa mga bahagi ng granite sa kagamitan sa semiconductor at ihambing ang kanilang mga pakinabang at kawalan.
Mga alternatibong materyales para sa mga bahagi ng granite
1. Mga Materyales ng Glass-Ceramic
Ang mga materyales na glass-ceramic, tulad ng Zerodur at Cervit, ay nakakuha ng malawakang paggamit sa industriya ng semiconductor dahil sa kanilang mababang koepisyentong pagpapalawak ng thermal, na malapit sa silikon. Dahil dito, ang mga materyales na ito ay maaaring magbigay ng mas mahusay na katatagan ng thermal at pinahusay na katumpakan sa proseso ng katha ng semiconductor. Ang Zerodur, lalo na, ay may mataas na antas ng homogeneity at katatagan, na ginagawang angkop para sa paggawa ng mga kagamitan sa lithography.
Mga kalamangan:
- Mababang koepisyent ng pagpapalawak ng thermal
- Mataas na katumpakan at katatagan
- Angkop para sa mga application na may mataas na temperatura
Mga Kakulangan:
- Mas mataas na gastos kumpara sa granite
- Medyo malutong, maaaring magdulot ng mga hamon sa machining at paghawak
2. Keramika
Ang mga ceramic na materyales, tulad ng aluminyo oxide (AL2O3), silikon na karbida (SIC), at silikon nitride (SI3N4), ay may mahusay na mga katangian ng mekanikal, paglaban sa mataas na temperatura, at mababang koepisyentong pagpapalawak ng thermal. Ang mga pag -aari na ito ay ginagawang perpekto ng mga keramika para sa mga bahagi ng kagamitan ng semiconductor na nangangailangan ng mataas na thermal katatagan at katumpakan, tulad ng mga yugto ng wafer at chuck.
Mga kalamangan:
- Mataas na thermal katatagan at lakas
- Mababang koepisyent ng pagpapalawak ng thermal
- Mataas na paglaban sa pagsusuot at pagkawalang -kilos ng kemikal
Mga Kakulangan:
- maaaring maging malutong at madaling kapitan ng pag -crack, lalo na sa panahon ng machining at paghawak
- Ang machining at buli ng mga keramika ay maaaring maging hamon at oras-oras
3. Metals
Ang mga materyales na batay sa metal, tulad ng hindi kinakalawang na asero at titanium, ay ginamit para sa ilang mga bahagi ng kagamitan sa semiconductor dahil sa kanilang mahusay na machinability at mataas na lakas. Karaniwang ginagamit ang mga ito sa mga aplikasyon kung saan hindi kinakailangan ang mataas na katatagan ng thermal, tulad ng mga bahagi ng silid, pagkabit, at mga feedthrough.
Mga kalamangan:
- Magandang machinability at weldability
- Mataas na lakas at pag -agas
- Mababang gastos kumpara sa ilan sa mga alternatibong materyales
Mga Kakulangan:
- Mataas na koepisyentong pagpapalawak ng thermal
- Hindi angkop para sa mga application na may mataas na temperatura dahil sa mga isyu sa pagpapalawak ng thermal
- madaling kapitan ng kaagnasan at kontaminasyon
Konklusyon:
Sa buod, habang ang granite ay naging isang tanyag na pagpipilian para sa mga bahagi ng kagamitan sa semiconductor, lumitaw ang mga alternatibong materyales, ang bawat isa ay may natatanging pakinabang at kawalan. Ang mga materyales na glass-ceramic ay lubos na tumpak at matatag ngunit maaaring maging malutong. Ang mga keramika ay malakas at may mahusay na katatagan ng thermal ngunit maaari ring maging malutong, na ginagawang mas mahirap sa paggawa. Ang mga metal ay mura, machinable, at ductile, ngunit mayroon silang isang mas mataas na koepisyent ng pagpapalawak ng thermal at madaling kapitan ng kaagnasan at kontaminasyon. Kapag pumipili ng mga materyales para sa kagamitan sa semiconductor, mahalaga na isaalang -alang ang mga tiyak na kinakailangan ng application at piliin ang mga materyales na balanse ang gastos, pagganap, at pagiging maaasahan.
Oras ng Mag-post: Mar-19-2024