Ang Granite ay isang tanyag na materyal sa industriya ng pagproseso ng wafer dahil sa pambihirang mga katangian ng mekanikal at tibay. Ito ay isang likas na bato na mined mula sa mga quarry sa buong mundo at ginamit nang maraming siglo para sa iba't ibang mga layunin ng konstruksyon, kabilang ang paggawa ng mga kagamitan sa semiconductor. Sa artikulong ito, tatalakayin natin ang mga katangian ng granite at ang iba't ibang mga aplikasyon nito sa mga kagamitan sa pagproseso ng wafer.
Mga katangian ng granite
Ang Granite ay isang mabagsik na bato na binubuo ng mica, feldspar, at quartz. Kilala ito para sa pambihirang lakas, tigas, at tibay, ginagawa itong isang mainam na materyal para sa mga aplikasyon na nangangailangan ng mataas na katumpakan at kawastuhan. Ang Granite ay may mababang koepisyent ng pagpapalawak ng thermal, na nangangahulugang hindi ito lumawak o kontrata dahil sa mga pagbabago sa temperatura, na ginagawang matatag ito. Bilang karagdagan, ang granite ay lumalaban sa kaagnasan at kemikal, na ginagawang isang mainam na materyal para magamit sa malupit na mga kapaligiran.
Mga aplikasyon ng granite sa kagamitan sa pagproseso ng wafer
Ang Granite ay isang malawak na ginagamit na materyal sa industriya ng pagproseso ng wafer dahil sa natatanging kumbinasyon ng mga pag -aari. Ang mga sumusunod ay ilan sa mga aplikasyon ng granite sa mga kagamitan sa pagproseso ng wafer:
1. Mga tool sa metrolohiya
Ang Granite ay karaniwang ginagamit sa paggawa ng mga tool ng metrolohiya, tulad ng coordinate na pagsukat ng mga makina (CMM) at mga optical na sistema ng pagsukat. Ang mga tool na ito ay nangangailangan ng matatag na ibabaw na maaaring pigilan ang mga panginginig ng boses at init. Ang mataas na higpit at mababang thermal pagpapalawak ng granite ay ginagawang isang mainam na materyal para sa mga naturang aplikasyon.
2. Wafer Chucks
Ang mga wafer chuck ay ginagamit upang hawakan ang mga wafer sa panahon ng proseso ng pagmamanupaktura. Ang mga chuck na ito ay nangangailangan ng isang patag at matatag na ibabaw upang maiwasan ang wafer mula sa warping o baluktot. Nagbibigay ang Granite ng isang patag na ibabaw na lubos na matatag at lumalaban sa warping, ginagawa itong isang mahusay na materyal para sa mga wafer chuck.
3. Mga tool sa Chemical Mechanical Polishing (CMP)
Ang mga tool ng CMP ay ginagamit upang mag -polish ng mga wafer sa panahon ng proseso ng pagmamanupaktura. Ang mga tool na ito ay nangangailangan ng isang matatag na platform na maaaring pigilan ang mga panginginig ng boses at init. Ang mahusay na higpit at mababang thermal pagpapalawak ng granite ay ginagawang isang mainam na materyal para sa mga tool ng CMP.
4. Kagamitan sa inspeksyon ng Wafer
Ang mga kagamitan sa inspeksyon ng wafer ay ginagamit upang siyasatin ang mga wafer para sa mga depekto at bahid. Ang mga tool na ito ay nangangailangan ng isang matatag at patag na ibabaw upang matiyak ang tumpak na mga sukat. Nagbibigay ang Granite ng isang matatag at patag na ibabaw na lumalaban sa warping, ginagawa itong isang mainam na materyal para sa kagamitan sa inspeksyon ng wafer.
Konklusyon
Sa konklusyon, ang granite ay isang malawak na ginagamit na materyal sa industriya ng pagproseso ng wafer dahil sa pambihirang mga katangian ng mekanikal at tibay nito. Karaniwang ginagamit ito sa paggawa ng mga tool ng metrolohiya, wafer chuck, mga tool ng CMP, at kagamitan sa inspeksyon ng wafer. Ang natatanging kumbinasyon ng mga pag -aari ay ginagawang isang mainam na materyal para sa mga aplikasyon na nangangailangan ng mataas na katumpakan at kawastuhan. Sa maraming mga pakinabang nito, ang granite ay nananatiling isang tanyag na pagpipilian para sa mga kagamitan sa pagproseso ng wafer, at ang paggamit nito ay malamang na patuloy na lumalaki sa hinaharap.
Oras ng Mag-post: Dis-27-2023