Ultra-Precision Granite Base para sa Inspeksyon at Metrolohiya ng Wafer

1. Superior na Agham ng Materyales: ZHHIMG® Black Granite

Hindi tulad ng karaniwang granite o, mas malala pa, mababang uri ng marmol na ginagamit ng mga hindi gaanong maingat na tagagawa, ang mga base ng ZHHIMG ay eksklusibong gawa mula sa aming pagmamay-ari na ZHHIMG® Black Granite.

● Pambihirang Densidad: Ipinagmamalaki ng aming materyal ang kahanga-hangang densidad na ≈ 3100 kg/m³, na nakahihigit sa maraming kumbensyonal na itim na granite mula sa Europa at Amerika.

● Katatagan sa Init: Ang mataas na densidad at kaunting pagsipsip ng tubig ay nagsisiguro ng mahusay na katatagan ng dimensyon, na lubhang binabawasan ang epekto ng thermal drift sa mga kritikal na siklo ng inspeksyon.

● Pag-aalis ng Vibration: Ang natural na istrukturang mineral ay nagbibigay ng mahusay na panloob na pag-aalis ng signal, mahalaga para sa paghiwalay ng mga sensitibong optika at sensor mula sa panlabas na vibration.

2. Walang Kapantay na Kakayahan sa Paggawa at Pag-assemble

Ang aming pangako sa katumpakan ay binubuod ng aming pangunahing paniniwala: "Ang negosyo ng katumpakan ay hindi maaaring maging masyadong mapanghamon."

● Dalubhasang Kasanayan: Ang aming mga base ay hinahawakan ng mga dalubhasang technician, na marami sa kanila ay may mahigit 30 taong karanasan, na kayang makamit ang patag na ibabaw at paralelismo hanggang sa antas ng nanometer—ang katumpakan ay napatunayan ng Renishaw Laser Interferometers at WYLER Electronic Levels.

● Kontroladong Kapaligiran: Ang pagma-machining at pangwakas na pag-assemble ay isinasagawa sa loob ng aming 10,000 m² na Temperature- and Humidity-Controlled Cleanroom (ginagaya ang mahigpit na mga kondisyon ng paggawa ng semiconductor). Nagtatampok ang pasilidad na ito ng 1000 mm na kapal na pundasyon ng kongkreto at 2000 mm na lalim na mga trench na anti-vibration, na tinitiyak ang isang tunay na matatag na kapaligiran sa metrolohiya.

3. Pinagsamang Disenyo ng Katumpakan (Gaya ng Ipinapakita sa Larawan)

Ang base ay karaniwang ibinibigay bilang isang kumplikadong assembly, kadalasang kinabibilangan ng:

● Mga Istrukturang Hugis-L/Gantry: Dinisenyo upang suportahan ang patayong galaw (Z-axis) ng mga imaging head, na tinitiyak ang orthogonality at geometric na katumpakan.

● Mga Precision Grooves at Inserts: Mga pre-machined na ibabaw na may mga threaded steel insert at mga precision dowel hole para sa pag-mount ng mga air bearings, linear motors (XY Table), vision systems, at guide rails (THK, HIWIN, Rexroth).

● Pagpapasadya: Espesyalista kami sa malawakang pagma-machining, na may kakayahang maghatid ng mga monolithic granite base na hanggang 20m ang haba at 100 tonelada ang bigat, na eksaktong iniayon sa saklaw ng iyong kagamitan.