Ang mga sistema ng granite air bearing ay malawakang ginagamit saultra-precisionmga plataporma ng paggalaw para sa pagmamanupaktura ng semiconductor, optical alignment, at metrolohiya sa iskala ng nanometer.
Inaalis ng mga sistemang ito ang mekanikal na kontak sa pamamagitan ng paggamit ng manipis na pressurized air film, na nakakamit ng halos zero friction motion.
Prinsipyo ng Pagdadala ng Hangin
Ang mga air bearings ay gumagana sa pamamagitan ng pagpapasok ng naka-compress na hangin sa pagitan ng dalawang ibabaw, na bumubuo ng isang 2-20 μm na air film.
Tinatanggal nito ang:
- Mekanikal na alitan
- Magsuot
- Pag-uugali ng pagkadulas
Ang sistema ay umaasa sa fluid film dynamics at matatag na laminar flow.
Papel ng Granite
Nagbibigay ang Granite ng:
- Katatagan ng istruktura
- Pagsugpo sa thermal drift
- Pagbabad ng panginginig ng boses
Ito ay nagsisilbing mekanikal na batayan ng sanggunian para sa sistema ng paggalaw.
Mga Bahagi ng Sistema
- Base ng granite
- Mga pad ng bearing ng hangin
- Sistema ng suplay ng hangin
- Mga encoder na may katumpakan
- Sistema ng pagkontrol ng paggalaw
Mga Katangian ng Pagganap
Kasama sa karaniwang pagganap ang:
- Katumpakan sa pagpoposisyon ng sub-micron
- Mataas na tuwid na pagkakagawa sa mahabang paglalakbay
- Walang mekanikal na backlash
Kabilang sa mga pangunahing pinagmumulan ng error ang kawalang-tatag ng presyon ng hangin, thermal drift, at error sa encoder.
Mga Aplikasyon
- Inspeksyon ng semiconductor wafer
- Mga sistemang litograpiya
- Mga plataporma ng pagkakahanay ng optika
- Mga makinang pang-metrolohiya na may mataas na kalidad
Mga Madalas Itanong
Nasisira ba ang mga air bearing?
Ang kawalan ng mekanikal na kontak ay nag-aalis ng pagkasira.
Bakit gagamit ng granite?
Para sa katatagan at pagpapahina ng panginginig ng boses.
Ano ang naglilimita sa katumpakan?
Katatagan ng hangin at mga epekto ng init.
Kaya ba nilang magdala ng mabibigat na karga?
Oo, depende sa disenyo.
Oras ng pag-post: Hulyo-03-2026