Ang mga bahagi ng granite ay malawakang ginagamit sa proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor dahil sa kanilang mahusay na mga katangian tulad ng superior surface finish, mataas na higpit, at mahusay na vibration damping.Ang mga bahagi ng granite ay mahalaga para sa kagamitan sa paggawa ng semiconductor, kabilang ang mga makina ng lithography, mga makinang pang-polishing, at mga sistema ng metrology habang nagbibigay ang mga ito ng tumpak na pagpoposisyon at katatagan sa panahon ng proseso ng pagmamanupaktura.Sa kabila ng lahat ng mga pakinabang ng paggamit ng mga bahagi ng granite, mayroon din silang mga depekto.Sa artikulong ito, tatalakayin natin ang mga depekto ng mga bahagi ng granite para sa mga produktong proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor.
Una, ang mga bahagi ng granite ay may mataas na koepisyent ng pagpapalawak ng thermal.Nangangahulugan ito na lumalawak sila nang malaki sa ilalim ng thermal stress, na maaaring magdulot ng mga isyu sa panahon ng proseso ng pagmamanupaktura.Ang proseso ng paggawa ng semiconductor ay nangangailangan ng mataas na katumpakan at dimensional na katumpakan na maaaring makompromiso dahil sa thermal stress.Halimbawa, ang deformation ng silicon wafer dahil sa thermal expansion ay maaaring magdulot ng mga isyu sa alignment sa panahon ng lithography, na maaaring makompromiso ang kalidad ng semiconductor device.
Pangalawa, ang mga bahagi ng granite ay may mga depekto sa porosity na maaaring magdulot ng mga pagtagas ng vacuum sa proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor.Ang pagkakaroon ng hangin o anumang iba pang gas sa system ay maaaring magdulot ng kontaminasyon sa ibabaw ng wafer, na magreresulta sa mga depekto na maaaring makaapekto sa pagganap ng semiconductor device.Ang mga inert gas tulad ng argon at helium ay maaaring tumagos sa mga porous na bahagi ng granite at lumikha ng mga bula ng gas na maaaring makagambala sa integridad ng proseso ng vacuum.
Pangatlo, ang mga bahagi ng granite ay may mga microfracture na maaaring makagambala sa katumpakan ng proseso ng pagmamanupaktura.Ang granite ay isang malutong na materyal na maaaring bumuo ng mga microfracture sa paglipas ng panahon, lalo na kapag nakalantad sa patuloy na mga siklo ng stress.Ang pagkakaroon ng mga microfracture ay maaaring humantong sa dimensional na kawalang-tatag, na magdulot ng mga makabuluhang isyu sa panahon ng proseso ng pagmamanupaktura, tulad ng lithography alignment o wafer polishing.
Ikaapat, ang mga bahagi ng granite ay may limitadong kakayahang umangkop.Ang proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor ay nangangailangan ng nababaluktot na kagamitan na maaaring tumanggap ng iba't ibang mga pagbabago sa proseso.Gayunpaman, ang mga bahagi ng granite ay matibay at hindi maaaring umangkop sa iba't ibang mga pagbabago sa proseso.Samakatuwid, ang anumang mga pagbabago sa proseso ng pagmamanupaktura ay nangangailangan ng pag-alis o pagpapalit ng mga bahagi ng granite, na humahantong sa downtime at nakakaapekto sa pagiging produktibo.
Ikalima, ang mga bahagi ng granite ay nangangailangan ng espesyal na paghawak at transportasyon dahil sa kanilang timbang at hina.Ang Granite ay isang siksik at mabigat na materyal na nangangailangan ng espesyal na kagamitan sa paghawak tulad ng mga crane at lifter.Bukod pa rito, ang mga bahagi ng granite ay nangangailangan ng maingat na pag-iimpake at transportasyon upang maiwasan ang pinsala sa panahon ng pagpapadala, na humahantong sa mga karagdagang gastos at oras.
Sa konklusyon, ang mga bahagi ng granite ay may ilang mga disbentaha na maaaring makaapekto sa kalidad at produktibidad ng mga produkto ng proseso ng paggawa ng semiconductor.Ang mga depektong ito ay maaaring mabawasan sa pamamagitan ng maingat na paghawak at pagpapanatili ng mga bahagi ng granite, kabilang ang pana-panahong inspeksyon para sa mga microfracture at mga depekto sa porosity, wastong paglilinis upang maiwasan ang kontaminasyon, at maingat na paghawak sa panahon ng transportasyon.Sa kabila ng mga depekto, ang mga bahagi ng granite ay nananatiling mahalagang bahagi ng proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor dahil sa kanilang superior surface finish, mataas na higpit, at mahusay na vibration damping.
Oras ng post: Dis-05-2023